판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9398709

STRASBAUGH 6EC는 정확한 표면 마무리 (surface finish) 및 낮은 표면 결함이 필요한 어플리케이션에 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확하고 견고한 2 단계 랩핑 플랫폼을 사용하여 매우 높은 수준의 표면 품질로 그라인드 (grind), 랩 (lap) 및 폴링 웨이퍼를 사용합니다. STRASBAUGH 6 EC에는 2 개의 플래튼 스테이지가 장착되어 있으며, 각각 12 인치 직경 횡단 척과 저관성 열 판이 있습니다. 이 장치의 첫 번째 단계는 랩핑 (lapping) 과 연마 (polishing) 전에 표면 균일성이 높은 거울 모양의 마무리를 만들기 위해 웨이퍼 표면을 갈기 위해 설계되었습니다. 이것은 고정밀 공급 제어 (high-precision feed control) 로 수행되며, 각 웨이퍼의 표면 평판 요구 사항에 따라 가변적으로 조정됩니다. 그라인딩 플레이트는 외부 흐르는 물 공급 장치로 냉각되며, 잔해가 작업장을 빠져 나가지 못하도록 Zone Guard 파편 제어기 (Zone Guard debris control machine) 가 장착되어 있습니다. 6 E C의 두 번째 단계는 최대한의 마무리 제어를 위해 다이아몬드 파우더 (diamond powder) 또는 알루미나 슬러리 (alumina slurry) 와 같은 빠른 변화 랩핑/연마 미디어가 장착 된 높은 정확도 랩핑 스테이지입니다. 적정 마무리 및 표면 결함 생성을 위해 플래튼이 가열되거나 냉각됩니다. 다시 한번, 정밀 급지 제어를 사용하여 정확한 표면 균일성을 보장합니다. "플래튼 '은 깨끗 한 작업 환경 을 유지 하는 데 사용 되는" 미디어' 입자 들 을 "워크존 '에서 제거 하는 고효율 환기 도구 를 갖추고 있다. 이 자산은 사용자 친화적 PC 인터페이스를 사용하여 완전히 자동화된 방식으로 작동합니다. 사용자는 프로세스 매개변수를 저장하고 리콜하고, 실시간 웨이퍼 비디오 (wafer video) 와 웨이퍼 (wafer) 도량형 결과를 보고, 모델의 상태를 모니터링할 수 있습니다. 최첨단 로봇 공학 (State-of-the-art robotics) 은 장비의 웨이퍼를 조작하는 데 사용되므로 최소한의 수동 작업으로 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 따라서 운영자의 개입이 최소화되어 빠르고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 프로세스가 가능합니다. 6 EC는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 뛰어난 표면 마무리 균일성 (surface finish unifority) 및 고결함의 수준을 제공하며, 자동화된 공정의 이점을 추가하여 생산성을 향상시키고 수동 웨이퍼 처리를 줄입니다.