판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9329077

ID: 9329077
웨이퍼 크기: 4"-8"
CMP System, 4"-8" With touch screen Slurry pump Manual included.
STRASBAUGH 6EC는 반도체, 화합물 및 광학 웨이퍼 제작을 위해 설계된 고성능, 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 가장 까다로운 기판에서 우수한 표면 마무리 (surface finish) 를 만드는 데 사용되는 웨이퍼 처리 기술의 상부 에켈론을 나타냅니다. STRASBAUGH 6 EC (STRASBAUGH 6 EC) 는 여러 개의 그라인딩 및 랩핑 헤드를 통합하여 보다 정확하고 균일한 마무리를 만들고, 고급 자동화를 통해 정확한 프로세스 제어 및 빠른 사이클 시간을 제공합니다. 그라인딩 및 랩핑 프로세스 (grinding and lapping process) 는 랩 플레이트 및 독점 소프트웨어와 연마식 그라인딩을 결합하여 포스트 프로세싱이 적은 기판에서 우수한 마무리를 달성합니다. 모든 중요한 구성 요소는 정밀 모션 제어 하드웨어에 의해 구동되며 6 E C에는 완료된 웨이퍼를 측정하는 레이저 간섭계 (laser interferometer) 기반 프로세스 도량형 옵션도 포함됩니다. 6EC에는 단면 및 양면 연삭/연마 판, 슬러리 농축 물, 랩핑 및 연마 용 패드 등 전체 소모품 라인이 포함됩니다. 따라서 호환되지 않는 재료 간에 전환하는 경우에도 일관되고 재현가능한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 6 EC는 또한 자동화된 로드 및 언로드, 빠른 변경 랩핑/다듬기 도구, 자동화된 프로세스 레시피 등 생산성을 향상시키는 다양한 기능을 제공합니다. STRASBAUGH 6 E C에는 부드럽고 일관된 재료 수송 및 최대 표면 청결을 제공하는 고급 진공 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 견고성 강화 (rugged frame) 구조와 안전하고 안전한 작동을 위한 안전 통합 디자인이 포함되어 있습니다. 이 툴의 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 엔지니어는 실시간으로 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 요약하자면, STRASBAUGH 6EC는 가장 까다로운 기판에서 훌륭한 표면 마무리를 달성하기위한 세계적 수준의 고성능 그라인딩, 랩핑, 연마 자산입니다. 즉, 사용자는 정확한 프로세스 제어, 짧은 주기 시간, 포괄적인 소모품 회선을 제공하여 일관되고 재현가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 엔지니어는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있으며, 고급 안전 (Advanced Safety) 모델은 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다.
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