판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9296334

STRASBAUGH 6EC
ID: 9296334
웨이퍼 크기: 8"
CMP System, 8".
STRASBAUGH 6EC는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 일정한 평탄도 측정과 직선, 깨끗한 가장자리로 6 인치 실리콘 웨이퍼를 생산하기위한 업계 최고의 도구입니다. STRASBAUGH 6 EC 는 연삭, 랩핑, 연마 를 통해 과정 을 진행 하는 재료 를 매끄럽게 하고, 청소 하고, 균일 하게 마감 시킨다. 6 E C는 현대 반도체 업계에 필요한 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 매우 다재다능한 기계로, 실리콘, 쿼츠, 유리, 세라믹 및 광학 기판과 같은 다양한 재료를 직경이 5 "~ 8" 인 와퍼 크기로 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 6 EC는 두 가지 버전 (단일 스핀들 및 3 스핀들) 으로 구성되어 있으므로 다른 생산 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 3 스핀들 버전은 단일 패스에서 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. STRASBAUGH 6 E C는 세계 최초의 진정한 6 인치 웨이퍼 연삭 및 연마 장비입니다. 강력한 선형 베어링 (heavy duty linear bearing), 대형 볼 스크루 (oversized ball screw), 보다 정밀하게 디자인 된 연삭 및 연마 헤드를 갖춘 견고하고 안정적인 디자인 구조를 갖추고 있습니다. 또한 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 빠르고 일관된 처리를 위한 자동 기능이 포함되어 있습니다. 이 기계에는 연삭, 랩핑 및 연마 등 여러 프로세스 모드가 있습니다. 이러한 각 모드는 연삭/연마 압력, 연마 농도, 주기 속도, 절단 각도 등 다양한 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 따라서 전체 프로덕션 실행에서 웨이퍼를 일관되게 반복할 수 있습니다. 6EC 는 모든 애플리케이션 요구 사항에 맞게 각 프로세스를 사용자 정의할 수 있도록 다양한 액세서리를 수용할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 여기에는 다이아몬드 그라인딩 휠, 다이아몬드 슬러리, 연마 링 및 버퍼가 포함됩니다. 액세서리에는 연삭 휠 내부의 연삭 압력을 측정하기위한 먼지 수집기 (dust collector unit), 윤활기 (lubrication machine) 및 압력 게이지 (pressure gauge) 가 포함됩니다. 스트라스바우 6EC (STRASBAUGH 6EC) 는 더 짧은 주기 시간에 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 연삭 및 연마 과정에서 매우 정확하고 안정적입니다. 신속한 재구성 및 설치 기능을 통해 신속한 변경 (changeover) 및 탁월한 처리량을 실현할 수 있습니다. 통합 제어 툴을 통해 모든 프로세스에 대해 100% 모니터링을 통해 원하는 결과를 정확하게 확인할 수 있습니다 (영문).
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