판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9294179

STRASBAUGH 6EC는 최첨단, 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 그것 은 "실리콘 '" 웨이퍼' 의 우수 한 평평 함 과 표면 마무리 를 산출 하는 한편 오염, 긁힘 및 기타 결함 이 없도록 설계 되었다. STRASBAUGH 6 EC 시스템은 0.2 nm Ra보다 더 나은 표면 마무리와 12 개의 플랫 방향에서 3um의 매우 단단한 3 시그마 평평함을 달성 할 수 있기 때문에 매우 정확하고 효율적입니다. 6 E C는 4 개의 주요 스테이션, 거친 그라인딩, 웨이퍼 랩핑 및 드 버링, 초미세 랩핑 및 연마 및 청소/건조 스테이션으로 구성됩니다. 대략적인 그라인딩 스테이션 (rough grinding station) 은 웨이퍼의 두께를 원하는 크기로 줄이고 최소한의 표면 손상 (surface damage) 을 통해 웨이퍼 표면을 효율적으로 레벨 오프하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 랩핑 & 드 버링 스테이션에는 슬러리 및 이물질을 빠르게 제거하기위한 자기 플로트 플레이트 (Float Plate) 가 있으며, 패드를 신속하게 교환하고, 효율성을 향상시키고, 오염을 피할 수 있습니다. 초미세 랩핑 및 광택 스테이션은 0.2nm RA 미만의 매우 정밀한 표면 마무리를 달성하도록 설계되었습니다. TTA (Tape Transfer Arm) 또는 PTA (Pad Transfer Arm) 를 사용하여 구성할 수 있습니다. 마지막으로, 청소 및 건조 스테이션에는 웨이퍼를 빠르고 철저하게 건조시키는 통합 난방 건조 장치 (integrated heated drying unit) 가 있으며, 총 8 개의 노즐이 최첨단 청소 성능을 제공합니다. 또한 6EC 머신은 연삭, 랩핑, 연마 프로세스를 간소화하고 효율성을 최적화하는 여러 가지 자동화 된 프로세스를 갖추고 있습니다. 특히, 자동 웨이퍼 포지셔닝 및 처리 도구, 자동 크기 조정 메커니즘, 웨이퍼 클램핑 (Wafer Clamping) 및 클램핑 해제, 패드 및 웨이퍼 전송, 다양한 시각화 및 안전 시스템이 특징입니다. 또한 전체 자산은 견고하고, 안정적이며, 간편한 유지 관리 환경을 위해 설계되었습니다. 결론적으로, STRASBAUGH 6 E C는 현대의 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델로 실리콘 웨이퍼에 대한 뛰어난 평면도 및 표면 마무리 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 연삭, 랩핑, 연마 기능, 자동화된 프로세스 및 손쉬운 유지 관리 기능, 6 EC (EC) 를 통해 거의 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 비할 데없이 정확하고 빠르게 연마 할 수 있습니다.