판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9294178

STRASBAUGH 6EC는 프로그래밍 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 연삭, 랩핑 및 연마 기능을 수행하는 데 필요한 도구를 갖춘 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있습니다. 챔버에는 180도 회전식 그라인딩 브리지, 2 개의 프로그래밍 가능한 그라인딩 휠, 2 개의 수동 랩핑 플레이트, 2 개의 강제 랩핑 링 및 3 개의 15 인치 연마 버핑 휠이 장착되어 있습니다. 공정 챔버에는 35 ~ 110mm 크기의 기판 배열을 수용 할 수있는 조정 가능한 높이 플랫폼이 있습니다. 또한 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 공구의 위치를 정확하고 정확하게 제어할 수 있는 통합 장치가 있습니다. 그라인딩 브릿지 (grinding bridge) 는 둘레 주위에 최대 12 개의 도구를 수용 할 수 있으며, 이는 독립적으로 또는 일제히 작동 할 수 있으며, 복잡한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 두 바퀴 와 "랩핑 플레이트 '는" 프로그래밍' 이 가능 하며, 이 로 인해 사용자는 속도, 힘, 각도, 타이밍 과 같은 프로세스 의 여러 가지 부면 을 정확 하게 제어 할 수 있다. 기계의 연마 베이에는 2 개의 강제 랩핑 링과 3 개의 버핑 휠이 있습니다. 강제 랩핑 링은 가능한 가장 정확한 랩핑 결과를 위해 최대 3,000lbf (최대 3,000lbf) 의 압력을 가할 수 있습니다. 버핑 휠은 1 학년에서 5 학년까지 광학 평판 요구 사항이있는 연마 된 기판을 제공합니다. 또한, 바퀴는 낮은 입자 오염 수준으로 낮은 스크래치 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. STRASBAUGH 6 EC 도구는 거의 실시간 프로세스 모니터링 및 피드백을 제공하는 자동 닫힌 루프 제어 에셋에 의해 구동됩니다. 이 제어 모델은 냉각수 흐름 속도, 토크, 전류, 힘, 온도, 기타 등 다양한 프로세스 매개변수를 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 전체 프로세스 이력 (process history) 에 대한 장기 데이터 로깅을 지원하므로 프로세스 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 안전 장벽, 가벼운 커튼과 같은 광범위한 안전 기능을 자랑합니다. 장벽 은 우발적 인 접촉 으로 인한 상해 와 장비 손상 을 방지 하기 위해 설계 되었으며, 광선 "커튼 '은 기계 가 작동 하고 있을 때 에도 생산 을 계속 하도록 허용 한다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 접근하기 쉬운 기계적 부품 (mechanical component) 을 사용하여 간편한 설치/유지 관리를 위해 설계되었습니다.