판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9227505

ID: 9227505
CMP System Heads included.
STRASBAUGH 6EC는 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 장치 (polishing machine) 로, 현대 기술을 효율적인 프로세싱과 결합하여 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 요구에 대한 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 자동화된 제어 장비 (Automated Control Equipment) 로 설계되어 사용자 안전성 향상뿐만 아니라 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 통합, 프로그래밍 가능한 컨트롤러, PC 기반 소프트웨어 및 스테퍼 모터 구동 웨이퍼 연삭 및 연마 단계를 사용합니다. STRASBAUGH 6 EC에는 다양한 웨이퍼 그라인딩 스테이지와 1 개의 랩핑 스테이지가 장착되어 있습니다. 연삭 단계는 0.1 미크론 (micron) 까지 정확도로 웨이퍼에서 얇은 필름 및 기타 표면 특징을 안전하게 분쇄하도록 설계되었습니다. 랩핑 단계 (lapping stage) 는 마모형 미디어를 사용하여 웨이퍼에 최대 200 미크론 (micron) 평면 서피스를 구성하여 장치의 기능을 확장합니다. 6 E C에는 저속, 고속 토크 모터를 갖춘 조절 가능한 압력 제어 연마 헤드가 장착되어 있습니다. 연마 헤드는 일관된 결과와 정확성을 보장하기 위해 프로그래밍 가능하며 완전히 자동화되었습니다. 연마 장치 의 마찰 과 압력 을 조정 하여, 성능 을 극대화 하고, 표면 손상 을 방지 할 수 있다. 머신의 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능을 사용하면 4축 위치 정밀도, 재료 두께 등 다양한 매개변수를 제어하고 검토할 수 있습니다. 위치 정밀도 (positional accuracy) 는 그라인딩과 랩핑 시 웨이퍼 정렬을 측정하고 조정하는 방법을 제공합니다. 전체 툴 (full tool) 은 유연성을 위해 설계되었으며, 특정 요구 사항에 따라 프로세스와 워크플로를 사용자 정의할 수 있습니다. 안전 (Safety) 은 자산의 중요한 기능이며 6 EC는 운영자의 안전을 보장하는 다양한 기능을 통합합니다. 여기에는 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 압력 과부하 보호 (Pressure Overload Protection) 및 모델이 생성 한 공중 파편으로부터 운영자의 눈을 보호하는 공기 시스템이 포함됩니다. 전반적으로, 6EC는 일관되고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 안정적이고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 워퍼 프로세싱 (wafer processing) 의 모든 단계에서 운영자를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 갖춘 사용자 정의 및 사용자 친화적입니다.
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