판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9112652

STRASBAUGH 6EC는 가장 까다로운 기판 처리 요구를 충족시키기 위해 설계된 견고하고, 다재다능하며, 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 지속적인 가변 C축, 이중 측면 암 홀더, 우수한 힘 및 압력 제어 기능, 빠르고 정확한 전자 장치가 특징입니다. STRASBAUGH 6 EC는보다 일관된 작동을 위해 특허받은 반복 가능성 전환 알고리즘을 사용합니다. 이 기능을 통해 사용자는 자동화된 프로세스, 또는 기판 재료를 정확하고 일관되게 연삭, 랩, 연마하는 다단계 레시피를 만들 수 있습니다. 프로세스 매개변수 (process parameter) 는 프로그래밍이 용이하며 여러 시스템에서 쉽게 공유할 수 있으므로 대규모 생산 시설에 적합합니다. 이 장치에는 다양하게 설계된 기판 및 재료가 포함되어 있습니다. 여기에는 알루미나, 세라믹, 산화 마그네슘, 석영 및 사파이어가 포함됩니다. 또한, 6 E C는 최대 12 인치 직경의 큰 영역 기질과 함께 사용하도록 최적화되었습니다. 자동 로드 및 언로딩을 위해 사용자는 통합 로봇 (Integrated Robot) 과 암 로더 (Arm Loader) 를 활용할 수 있습니다. STRASBAUGH 6 E C는 습식 처리 및 건식 처리 방법을 모두 사용합니다. 습식 처리 방식에서, 연마 슬러리는 기판 표면에 펌핑되고, 강력한 원심 힘을 사용하여 효과적인 연삭, 랩핑 및 연마 솔루션을 만듭니다. 그런 다음 슬러리는 프로세스 챔버로 다시 배수되어 운영자 개입의 필요성을 줄입니다. 건식 처리 방법은 안전하면서도 효과적인 에칭 기술을 사용하여 기판 표면을 더욱 구체화합니다. 6EC의 가장 인상적인 기능 중 하나는 고압/고온 규정 준수입니다. 이렇게 하면 기계는 기판 표면을 손상시키지 않고 효율적이고 효과적으로 처리할 수 있습니다. 또한, "시원한" 챔버로 6 EC는 기질 표면에서 산화를 최소화합니다. STRASBAUGH 6EC는 또한 자동 자체 조정 기능과 강력한 모션 제어 기능을 통해 안정성이 높고 내구성이 뛰어납니다. 이 도구는 또한 팩토리 (factory) 및 사용자 정의 레시피 라이브러리를 내장하여 프로그래밍 시간과 노력을 크게 줄입니다. STRASBAUGH 6 EC에는 모든 고급 기능 외에도 다이아몬드 도구, 진공 시스템, 냉각 시스템, 온도 조정 액세서리 등 다양한 추가 액세서리가 제공됩니다. 이 모든 것은 6 E C를 시장에서 사용 가능한 최고 및 가장 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템 중 하나로 만듭니다.