판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #9105741

STRASBAUGH 6EC는 울트라 틴 플라나라이제이션 표면 생산을위한 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 빠르고 정확한 평면 화를위한 조정 가능한 토크가있는 2 단계 저주파 그라인딩 모터가 포함되어 있습니다. 외부 제어 장치 (exteriometric control unit) 는 일정한 감염 속도를 유지함으로써 각 면에 균일한 평면 화를 보장합니다. 이 기계는 빠르고 쉬운 체인지오버를 위해 카세트에 장착 된 통합 연마제로 설계되었습니다. STRASBAUGH 6 EC는 가변 속도 모터가있는 6 포켓 다이아몬드/카바이드 그라인딩 휠을 사용합니다. 바퀴는 정밀 분쇄를 위해 0.3 ~ 0.7 미크론의 그릿 크기를 갖습니다. 조정 가능한 급지대 휠은 고속, 저전력 연삭을 허용합니다. "웨이퍼 '는 진공" 척' 을 가진 회전식 "플래튼 '위 에 고정 되어 있어 접촉 과 정확 한 연삭 을 보장 한다. 6 E C에는 랩핑 및 연마 스테이션도 포함됩니다. 랩핑 플레이트는 고속 모터 (High-Speed Motor) 및 조정 가능한 주파수 드라이브 (Frequency Drive) 를 특징으로하여 웨이퍼 서피스의 랩핑도 수행할 수 있습니다. 이 "프로그램 '은" 웨이퍼' 의 접촉 영역 과 회전 속도 를 고려 하는 알고리즘 프로그램 '으로 설계 되었다. 특허를받은 진동 메커니즘은 웨이퍼 표면의 최적의 연마를 보장합니다. 이 도구에는 조잡한 웨이퍼 처리를 위해 슬러리 (slurry) 및 클린 스테이션 (clean station) 도 있습니다. 설계를 통해 간단한 노즐 변경을 통해 서피스를 효율적으로 청소할 수 있습니다. 이 자산은 또한 소비된 슬러리를 수집하고 불순물을 걸러낼 수 있도록 설계되었습니다. 6 EC는 사용자 친화적 인 HMI (Human Machine Interface) 로 설계되었습니다. 그래픽 디스플레이는 연산자 대화와 함께 프로세스 작업을 용이하게 합니다. 푸시 버튼 제어판 (push-button control panel) 을 통해 매개변수를 쉽게 조정하고 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 프로세스 변수와 실시간 데이터를 계산하는 Siemens S7-300 컨트롤러에서 실행됩니다. 이 장비는 고급 안전 모니터링 (Safety Monitor) 및 예방 유지 관리 기능으로 설계되어 성능과 효율성을 향상시킵니다. STRASBAUGH 6 E C는 웨이퍼 생산을 단순화하는 일체형 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 신뢰성이 높으며 울트라 틴 웨이퍼에 대한 정확한 평면 화를 제공합니다. 고급 안전 기능과 사용자 친화적 인 HMI (User-Friendly HMI) 는 얇은 기판 표면의 초정밀 평면 화를위한 이상적인 선택입니다.