판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #293816891

STRASBAUGH 6EC는 자동으로 프로그래밍 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 매우 정밀한 표면 및 랩핑 시스템은 웨이퍼의 표면을 마무리하도록 설계되었습니다. 4 개의 기본 컨트롤러 (서피스 마무리 컨트롤러, 방향/잠금 컨트롤러, 그라인딩/랩 컨트롤러 및 연마 컨트롤러) 로 구성됩니다. 서피스 마무리 컨트롤러 (Surface Finish Controller) 는 장치의 핵심으로, 조작자가 모든 기계적 그라인딩, 랩핑 및 연마 문제에서 빠르게 복구할 수 있으며, 서피스 마무리의 모든 샘플 회전 및 설정 점 (set point) 을 제어할 수 있습니다. 3D 서피스 프로파일링이 가능하며 한 번에 최대 3 개의 서피스를 프로파일 링할 수 있습니다. 또한 스팬 머신 (step scan machine) 을 사용하여 각 웨이퍼의 표면을 순차적으로 검사하여 공구의 처리량을 최대화합니다. 방향/잠금 컨트롤러 (Orientation/Locking Controller) 는 와퍼를 안전하고 정확하게 처리하며, 웨이퍼의 위치나 크기에 관계없이 동일한 양의 압력이 적용되는지 확인합니다. 또한, 샘플 위치 간에 잠금 메커니즘을 빠르고 정확하게 전환할 수 있습니다. 연산자에게 그라인딩/랩핑 (grinding/lapping) 컨트롤러는 독립된 제어 선형 및 회전 동작으로 그라인딩/랩핑 플래튼 (grinding/lapping platen) 주위로 웨이퍼를 이동시키고 일정한 수준의 힘으로 사이클을 수행 할 수 있도록 해줍니다. 이 컨트롤은 시퀀스 정지 동작을 통합합니다. 연마 "컨트롤러 '는 최종 연마 를" 웨이퍼' 표면 에 적용 하는 데 사용 된다. 그것 은 각 "샘플 '의 최종 연마 무게 를 기록 할 수 있으며, 그 크기 는 물론, 연마 되고 있는 물질 의 밀도 를 고려 할 수 있다. 이 "컨트롤 '은" 오퍼레이터' 에게 저압 에서 고압 의 범위 로 연마 압력 을 조절 할 수 있는 능력 을 주도록 설계 되었다. STRASBAUGH 6 EC는 표면 연삭, 랩핑 및 연마 중에 웨이퍼에 적용되는 압력을 동일하게 분배하도록 설계된 매우 정밀한 자산입니다. 4 개의 컨트롤러, 서열 정지 동작, 3D 표면 프로파일 링 및 연마 압력을 제어 할 수있는 기능으로, 6 E C는 웨이퍼 표면 처리에 탁월한 수준의 정확도를 제공합니다.