판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #293809254

STRASBAUGH 6EC는 생산 및 연구 환경에서 처리량과 반복성을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 다용도 기계는 Silicon, GaAs, GaN 및 Silicon Carbide를 포함한 다양한 웨이퍼를 원형 및 직사각형 웨이퍼 구성으로 처리 할 수 있습니다. STRASBAUGH 6 EC는 애플리케이션 요구 사항에 대한 최대 유연성을 제공하는 3 개의 모듈식 포드로 구성됩니다. 그라인드 포드 (Grind Pod) 에서, 8 개의 스테이션의 운영을 통해 빠른 재고 제거가 달성되며, 각각 웨이퍼 표면에서 재료를 제거하기 위해 회전하고 진동하는 2 개의 다이아몬드 휠이 포함되어 있습니다. 커스텀 디자인 휠과 함께 강력한 모터는 연삭 중에 높은 효율성과 정확성을 제공합니다. "랩핑 '" 포드' 는 불투명 하거나 투명 한 "랩핑 '유체 를" 웨이퍼' 밑면 에 분포 하는 정밀 한 슬러리 전달 "시스템 '을 갖추고 있다. 웨이퍼 (wafer) 가 슬러리에 노출 된 후, 포드의 실험실 기술자들은 최종 랩핑 (lapping) 프로세스를 사용하여 균질 한 표면을 제공합니다. 연마 포드 (polishing pod) 에서 와퍼에 abrading 및 cerium oxide slurries의 조합을 공급하여 우수한 마무리와 우수한 재료 제거를 생성하는 8 개의 스테이션을 이용할 수 있습니다. 능동 슬러리 관리 (slurry management) 및로드 셀 장치 (load cell unit) 는 공격적인 슬러리를 사용하더라도 빠르고 반복 가능한 연마를 보장합니다. "포오드 '사이 의 완전 히 통합 된" 로봇' 암 은 가동 을 단순화 시켜 쉽게 "웨이퍼 '를 적재 및 언로드 할 수 있게 해 준다. 모든 포드, 모터, 안전 부품 및 기타 부품을 포함하는 전체 6 개의 E C 구조는 사운드 댐핑 캐비닛으로 둘러싸여 기존 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 캐비닛에는 또한 와퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 중에 생성 된 파편을 캡처하고 폐기하는 데 도움이되는 솔리드 스테이트 에어 여과 기계 (solid state air filtration machine) 가 포함되어 있습니다. 안전성 및 편의성 향상을 위해 6 EC 운영을 제어하기 위해 운영자 인터페이스도 포함됩니다. 이 인터페이스를 통해 기술자는 프로세스 매개변수, 테스트 프로토콜, 기타 운영 매개변수를 쉽고 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 뛰어난 운영 반복성을 통해 높은 생산량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 다용도 시스템은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기, 재료, 구성을 효율적으로 처리하는 한편, 높은 운영 처리량과 최고의 반복성을 제공합니다. 저용량 (low and medium volume) 생산은 연구 및 개발 환경 모두에서 완벽하게 수행됩니다.