판매용 중고 STRASBAUGH 6EC #141548
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ID: 141548
CMP system, 4"
CMP Research, failure analysis, and low-volume production
Semiautomatic operations via color touch-screen GUI
VIPRR Carrier & hydro-lift load station
Single table
22" Diameter polish platen
Integrated pad conditioner
Load/unload station with wafer rinsing
Backside pressure control system
Vacuum / fluids separation unit
6EC Manuals
Option:
(5) Carrier template for small samples:
Configured for 2", or non-standard shapes and sizes
Thickness and shape to be defined.
STRASBAUGH 6EC는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로 웨이퍼 생산에서 비교할 수없는 표면 마무리를 제공합니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 생산 을 가속화 하고 연삭, "랩핑 '및 연마 주기 를 최대 90" 퍼센트' 까지 감소 시키도록 설계 되었다. STRASBAUGH 6 EC의 모듈식 설계는 특정 웨이퍼 크기, 모양 및 두께에 대한 사용자 정의 및 구성을 위한 유연성을 제공합니다. 6 E C는 3 상 스테인리스 스틸 연삭 공정을 사용합니다. 이 과정은 부드러운 갈기, 중간 갈기 및 단단한 갈기, 컨디셔닝 및 연마로 구성됩니다. 소프트 그라인드 (soft grind) 는 프로세스의 초기 단계이며, 여기서 샘플의 서피스는 범프나 능선에서 분쇄하여 준비됩니다. 중간 정도의 갈기 동안, 다이아몬드 복합 드레싱 링이있는 고속 원형 웨이퍼 랩핑 암은 표면 불규칙성을 최소화합니다. 하드 그라인딩 (hard grinding) 단계는 특정 모양과 크기가 웨이퍼에 부여되는 곳입니다. 최종 컨디셔닝 및 연마 단계는 샘플에 광택이 있고 완벽한 마무리를 제공합니다. 6 EC는 독특한 하향식 청소 방식을 사용합니다. 이 접근 방식 은, 입자 가 생산 과정 에 방출 되는 것 을 방지 함 으로써, 오염 을 최소화 하면서, 전체 장치 를 효율적 이고 효과적 으로 청소 한다. 그렇다. 이 기계의 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 은 또한 다른 물질 오염 물질과 함께 작업 할 때 잠재적 인 교차 오염으로부터 운영자를 보호합니다. STRASBAUGH 6 E C는 프로세스 기록 (process history) 과 함께 완료된 직관적인 터치스크린 제어판 (touchscreen control panel) 과 사용자 프로그래밍 가능한 데이터 스토리지로 제어됩니다. 또한 이 제어판을 사용하여 트로프 속도, 단계 사이의 유지 시간, 압력 범위, 그릿 크기 및 깊이, 냉각수 농도 등을 설정할 수 있습니다. 다른 기능으로는 프로그래밍 가능한 명령 언어 (programmable command language) 와 반복 프로세스에 사용할 수있는 사용자 정의 가능한 레시피가 있습니다. 결론적으로, 6EC는 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 도구로서 웨이퍼 생산 시간을 줄이고 고품질 표면 마무리를 생성하도록 설계되었습니다. 이 자산은 프로세스 기록, 데이터 스토리지, 사용자 지정 가능한 레시피 (레시피) 를 제공하는, 강력하고 직관적인 터치 제어판으로 구동됩니다. 고유한 하향식 (top down) 클리닝 방식은 교차 오염을 방지하는 동시에 효율적이고 효과적으로 청소합니다.
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