판매용 중고 STRASBAUGH 6DS #9233844
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STRASBAUGH 6DS는 광범위한 반도체 기판 재료의 고정밀 처리를 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 다이아몬드 그라인딩 플레이트 (diamond grinding plate) 는 매우 엄격한 공차 및 정확한 표면 마무리를 달성하는 반면, 고급 자동화 기능을 통해 시간에 민감한 생산 작업에 빠르고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 일련의 다이아몬드 그라인딩 플레이트 (diamond grinding plate) 를 사용하며, 각 플레이트는 특정 목적으로 설계되었습니다. 첫 번째 그라인딩 플레이트 (grinding plate) 는 표면 거칠기를 줄이고 웨이퍼 전체에 균일성을 생성하여 추가 처리를 위해 반도체 기판 재료를 준비합니다. 그 뒤 로 "다이아몬드 '" 그릿' 을 가진 더 세밀 한 접시 들 이 나오며, 그 로 인해 거칠기 가 더욱 줄어들고 더 연마 된 마무리 가 된다. 다음으로, 기타 그리트 (grit) 및 미디어 유형이 다른 랩핑 플레이트 (lapping plate) 를 사용하여 서피스를 정확하게 정의 된 사양으로 연마합니다. 마지막으로, 마무리 판을 사용하여 여러 개의 연마 동작을 적용하여 원하는 최종 마무리 (finish finish) 를 생성합니다. 6DS는 웨이퍼 배치 (wafer placement) 에 in-feed 장치를, 웨이퍼 서피스를 지속적으로 모니터링하기 위해 integrated vision machine을 사용하여 균일 한 처리 및 최적의 결과를 보장합니다. 또한, 터치 스크린 연산자 인터페이스를 통해 기판 프로파일 (substrate profile) 및 그라인딩 매개변수 (grinding parameters) 에서 냉각 주기 지속 시간 및 사용된 랩핑 플레이트 수 (number of lapping plate) 에 이르기까지 프로세스 매개변수를 구성할 수 있습니다. 또한 이 툴에는 고유한 오류 복구 자산 (error recovery asset) 이 포함되어 있어 운영자가 발생할 수 있는 모든 운영 문제를 수정할 수 있습니다. STRASBAUGH 6DS 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델의 기능을 통해 자동화되고 정확도가 높은 반도체 부품을 생산할 수 있습니다. 이 장비는 표면 프로파일 (surface profile) 을 달성 할 수 있으며, 현재 산업 표준을 초과하는 마무리 (finish) 를 통해 모든 반도체 제조 시설에 귀중한 도구입니다. 통합된 비전 시스템 (Vision System) 및 보고 기능을 통해 운영 작업의 정확성과 일관성을 보장하여 최상의 결과를 쉽게 얻을 수 있습니다.
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