판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #9410927

STRASBAUGH 6DS-SP는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 (GL&P) 장비로, 1nm의 평탄성과 병렬성이 적은 취성 기질에서 연성 기질까지 다양한 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 반도체, 의료, 데이터 스토리지 등 여러 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 완전히 자동화된 멀티 축 제어를 특징으로하며, 최대 정밀도 및 고성능 설계로 설계되었으며, STRASBAUGH 6 DS-SP는 < 1 nm 이상의 절대 평면도와 < 5 µm의 병렬성을 달성합니다. 또한 6DS-SP 는 모든 프로세스 개발 단계에서 높은 정확도와 측정이 가능한 최첨단 통합 비전 머신 (vision machine) 을 갖추고 있습니다. 이 도구는 고유 한 공정 챔버 설계를 사용하여 실리콘, 유리, 쿼츠 및 기타 무기 기판 (flicon substrates) 과 같은 다양한 재료를 기존 프로세스와 독점 프로세스로 처리 할 수 있습니다. 강력한 연마제 슬러리, 스핀들 및 진공 시스템은 매우 정밀한 재료 제거 및 기계, 화학 및 열 처리의 조합을 가능하게합니다. 이 자산은 효율적이고 안전하며, 공기, 온도, 습도를 모니터링하는 업계 최고의 안전 및 환경 모니터링 모델을 갖추고 있습니다. 또한 자동화된 작업장 청소 시스템을 갖춘 비디오 모니터링 장비 (비디오 모니터링 장비) 와 공정 실 (process chamber) 의 작지만 필수 오염을 최소화하기 위한 진동 급지대 (vbratory feeder) 도 포함되어 있습니다. 6 DS-SP 는 200mm 및 300mm 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며, 필요에 따라 더 큰 웨이퍼를 처리하도록 확장할 수 있습니다. 이 장치는 예제 고정 장치를 통해 유연성을 제공하여 테이프, 보안 또는 비보안 (non-secure) 형식을 사용할 수 있습니다. 이 도구는 R&D, Failure Analysis 및 Production GL&P 응용 프로그램과 나노 스케일 정확도의 고밀도 GL&P 요구 기술에 적합합니다.