판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #9314686

ID: 9314686
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 산업, 주로 실리콘 기판 (silicon substrate) 처리에 사용하기 위해 개발 된 산업용 정밀 장치입니다. STRASBAUGH 6 DS-SP는 고급 기술을 사용하여 실리콘, 저마늄 및 금속 산화물과 같은 기질에 대해 고정밀 분쇄, 랩핑, 연마 및 마무리를 제공합니다. 이 시스템은 SiC 그라인딩 휠, 다이아몬드 랩핑 필름, 연마 시트 및 마무리 필름 단위를 사용합니다. 이러한 모든 기능은 뛰어난 정확도와 표면 특성을 얻도록 설계되었습니다. 연삭 "휠 '은" 실리콘 카바이드' 로 만들어져 있는데, 이것 은 탁월 한 내마력 과 균일성 을 지닌 재료 이다. 임베디드 다이아몬드 필름 (embedded diamond film) 은 실리콘 및 기타 재료와 같은 랩핑 및 연마 기판에 필요한 연마 작용을 제공합니다. 연마 시트는 클로즈드 루프 머신 (closed-loop machine) 으로, 연마제 또는 화합물을 첨가하지 않고 짝수 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 연삭 스테이션, 랩핑 스테이션, 연마 스테이션, 마무리 스테이션 등 여러 부분으로 구성됩니다. 그라인딩 스테이션은 다이아몬드 장착 SiC 그라인딩 휠을 사용하여 웨이퍼를 정확하고 정확하게 갈아냅니다. 랩핑 프로세스는 다이아몬드 랩핑 필름 (diamond lapping film) 을 사용하여 매우 정확한 방식으로 재료를 제거합니다. 연마 스테이션은 특수 연마 시트를 사용하여 짝수 연마 마무리를 제공합니다. 마무리 국 (finishing station) 은 연마 역과 비슷한 방식으로 작동하지만, 정확하고 균일 한 마무리에 중점을 둡니다. 자산은 완전히 자동화되고 컴퓨터가 제어됩니다. 단일 웨이퍼 (single-wafer) 처리가 가능하므로 대용량 생산 환경에 적합합니다. 통합 진단 및 지원 (Integrated Diagnostics and Support) 모델은 시스템이 최적의 효율로 작동하고 일관된 결과를 얻도록 합니다. 6DS-SP 는 분쇄, 랩핑, 연마, 마감 기판 (finishing substrate) 을 통해 우수한 성능과 정확성을 얻고자 하는 기업에게 필수적입니다. 정교하고 자동화된 기능을 통해 반도체 업계에 이상적인 선택이 됩니다.
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