판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #9314675

STRASBAUGH 6DS-SP는 실리콘, 갈륨 비소, 쿼츠, 사파이어 등 단단하고 부드러운 기판의 고품질, 표면 마무리 연마를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 주어진 주기에서 2 "-2.5" 웨이퍼의 동시 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 이 시스템은 정밀 웨이퍼 준비를위한 2 가지 플랫폼 (섬유와 같은 소형 기판과 GaAs와 같은 더 큰 기판 용 1 개) 을 제공합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP 장치는 주 제어 장치와 다양한 하위 장치로 구성됩니다. 기본 제어 장치 (Main Control Unit) 는 사용자 친화적 인터페이스를 제공하여 전체 시스템을 모니터링하고 관리할 수 있습니다. 메인 컨트롤에는 연삭, 랩핑 및 연마 기계에 전원을 공급하는 전원 공급 장치 (power supply unit) 도 있습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 기계는 연삭 클래스, 랩핑 클래스, 연마 클래스의 3 가지 클래스로 나뉩니다. 그라인딩 클래스는 2 점 도구를 포함하는 자동화 된 웨이퍼 로딩 스테이션 (wafer loading station) 으로 구성되며, 웨이퍼 방향과 최대 0.5 "깊이를 수용하고 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 보유한 프로그래밍 가능한 그라인딩 챔버. 가변 주파수 드라이브로 설계되었으며 최대 35000 rpm을 허용합니다. "그라인딩 '반열 은" 웨이퍼' 의 양면 을 동시 에 그리고 다양 한 각도 로 갈아낼 수 있다. 랩핑 클래스는 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 보유한 자동 로더로 구성되며, 웨이퍼 양쪽에 프로그래밍 할 수 있습니다. 연마 슬러리 (slurry) 의 제어 흐름이 웨이퍼 (wafer) 의 평평한 표면에 도입되어 더 높은 제어성과 랩핑을위한 더 낮은 주기 시간이 가능합니다. 랩핑 클래스는 회전하는 랩 휠 (lap wheel) 에서 웨이퍼를 실행하여 더 높은 수준의 평평함을 보장합니다. 마지막으로, 연마 클래스는 전기 화학 연마 (electrochemical polishing) 또는 연마제 연마 공정을 사용하여 더 높은 수준의 표면 마무리 및 결함 감소를 달성합니다. 여기에는 개선 된 연마 동작을위한 웨이퍼 (wafer) 에 얇고 전도성이 높은 레이어가 포함되어 있으며, 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 프로그래밍 가능한 자동 로더가 포함되어 있습니다. 6DS-SP 는 다양한 애플리케이션용 웨이퍼의 제어, 정밀 연삭, 랩핑 및 폴링을 제공하는 최첨단 자산입니다. 뛰어난 속도, 정확도, 모델 제어, 다용도 기능으로 인해 다양한 웨이퍼 요구 사항에 이상적인 장비가 됩니다. 이 시스템은 비교적 쉽게 작동하며, 와퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장치 (lapping & polishing unit) 를 찾는 모든 실험실에 크게 추가됩니다.