판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #9211915
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ID: 9211915
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
CMP Polisher, 8"
Aluminum platens and lifters
Spare parts included
1996 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP는 현대적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기술 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 수율과 향상된 장치 특성과 견고성을 갖춘 고성능 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 MEMS 부품을 생산하도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 6 DS-SP는 랩핑 및 연마 플랫폼, 주 섀시 및 디지털 제어 컴퓨터로 구성됩니다. 랩핑 및 연마 플랫폼은 6DS-SP 장치의 핵심입니다. 이 기계는 황삭 및 마무리 스테이션, 실버 시트 스테이션, 다이아몬드 디스크 스테이션, 진공 스테이션 등 4 개의 프로세스 스테이션으로 구성됩니다. 황삭 및 마무리 스테이션에는 최대 250 RPM까지 회전 할 수있는 랩핑 플래튼이 있습니다. 플래튼 (platen) 에는 다양한 방향과 각도로 랩핑 및 연마가 가능한 조절 가능한 틸트 메커니즘이 장착되어 있습니다. 실버 시트 스테이션 (Silver Sheet Station) 에는 웨이퍼 표면을 갈아서 연마 할 수있는 세라믹 라이드 플레이트가 장착되어 있습니다. 마지막으로, 다이아몬드 디스크 스테이션에는 플라스틱, 냉각수 공급, 회전 드라이브 헤드가 장착되어 있습니다. 이 스테이션은 마무리 작업에 사용되며 최대 10,000 RPM의 속도에 도달 할 수 있습니다. 이 도구의 주요 섀시는 내식성 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 견고한 공장 환경에서 내구성과 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. "다이아몬드 '디스크 스테이션의 드라이브 헤드뿐 아니라" 랩핑 플래튼' 의 기울기· 회전을 제어하기 위한 냉각팬 '과 저전압 스테퍼 모터 3 대가 장착돼 있다. 디지털 제어 컴퓨터는 자산의 정확하고 자동화된 작동을 허용합니다. 이 제품은 랩핑 (lapping) 및 다듬기 (polishing) 프로세스를 위한 향상된 정밀도와 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 편리한 메뉴 방식의 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 6 개의 DS-SP 모델은 매우 효율적이며 향상된 수율, 향상된 수율 및 디바이스 특성을 제공합니다. 또한 정밀도가 높은 MEMS 컴포넌트 생산에 적합합니다. 반도체 제작용 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 생산에 이상적이며, 고품질 결과를 내면서 고속으로 작동할 수 있는 장비다.
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