판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #9181741
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ID: 9181741
웨이퍼 크기: 8"
CMP Polisher, 8"
(2) Carriers
Data plate
Aluminum platens and lifters
Spare parts included.
STRASBAUGH 6DS-SP (STRASBAUGH 6DS-SP) 는 완전하게 자동화된 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비로, 다양한 재료를 일관성 있고 비용 효율적인 프로세싱합니다. 작은 설치 공간 내에서 처리량을 극대화할 수 있도록 설계된 STRASBAUGH 6 DS-SP 는 강력한 구성 요소, 정확한 컴퓨터 지침, 고급 프로세스 제어 알고리즘을 활용하여 시간당 최대 15 와퍼 (wafer) 의 처리율을 제공합니다. 이 시스템은 MEMS 재료의 레이저 가공, 반도체 및 태양 전지, 광전자 부품 등의 응용 분야에 적합합니다. 6DS-SP 에는 옵션으로 제공되는 자동 웨이퍼 매핑 스캐너 (Automated Wafer Mapping Scanner) 와 통합되어 0.1 미크론까지 최적 하위 표면 균일성과 고정밀 측정을 달성하는 수동 로드 스테이션이 포함되어 있습니다. 제어 소프트웨어는 필요에 따라 와퍼의 모양, 크기, 형상을 관리 할 수있는 최신 고성능 FEI ™ (Focused Electrostatics Instruments) 기술을 기반으로합니다. 이 장치는 또한 열 구배가 감소된 소규모 처리를 가능하게하는 6 축 강제 진동 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 플랫폼은 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스로 제어되며, 랩 온 다이아몬드 (Lap-on-Diamond) 연마 기능을 통해 모든 축에서 2 아크 초까지 동작 제어가 가능합니다. 6 DS-SP에는 실시간 표면 및 서브 표면 재료 평가를 위해 2 차원 공정 CCD 카메라 머신도 장착되어 있습니다. 제어 서브시스템에 대한 피드백을 위한 실시간 데이터를 제공합니다. 작동이 간편한 이 도구는 비상스톱 (Emergency Stop) 버튼, 스플래시 아웃 (Splash-Out) 경고, 빠른 릴리즈 (Quick-Release) 구성 요소 등 다양한 안전 기능을 통해 매개변수를 손쉽게 수정할 수 있습니다. 또한 STRASBAUGH 6DS-SP는 보안 구성 요소를 사용하며 CE (Conformite Europeenne) 안전 표준을 준수합니다. 또한 소프트웨어 기반의 자동 프로세스 제어 (Automatic Process Control) 및 모니터 기능이 포함되어 있어 웨이퍼 코팅 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시킵니다. 전체적으로 STRASBAUGH 6 DS-SP는 견고하고 정밀도가 높은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 다수의 기판을 안정적이고 경제적으로 처리합니다. 고급 프로세스 제어 알고리즘, 작동 편이성, 안전 기능, 최신 FEI 기술 지원 등을 통해, 6DS-SP 는 다양한 마이크로 구성 애플리케이션에 적합합니다.
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