판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293831748

STRASBAUGH 6DS-SP 장비는 자동 웨이퍼 연삭, 랩 및 연마 시스템입니다. 고정밀 샘플 준비를 위해 설계되었으며 직경 2 "(50.8 mm) 에서 6" (152.4 mm) 범위의 재료를 처리 할 수 있습니다. 광전자, 고급 반도체 장치, 재료 연구, MEMS 및 바이오 이미징을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP에는 샘플 처리의 정확성과 일관성을 향상시키는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 특히, 6 위치 정밀 스핀 스테이지는 높은 재생성과 빠른 샘플 로딩을 허용합니다. 또한, 이 장치에는 특수 설계 된 랩핑 베이스 플레이트 (lapping base plate) 와 빠른 액세스 클램프 (clamps) 가있는 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 및 처리 중에 샘플이 이동하지 않도록 홀더가 제공됩니다. 통합 현미경 목표도 포함되어 있으며, 이는 랩핑 중에 샘플을 관찰하는 데 사용될 수 있습니다. 6DS-SP 시스템에는 실시간 프로세스 모니터링, 레시피 관리, 빠르고 안전한 샘플 로딩을 위한 자동 스핀들 디버링 (Spindle Deburring) 툴 등 다양한 소프트웨어/하드웨어 옵션이 제공됩니다. 자동 연삭 공정은 연삭, 랩핑, 연마 등 3 가지 단계가 결합되어 높은 웨이퍼 품질과 균일 한 표면 마무리를 달성하기 위해 순차적으로 수행됩니다. 모든 프로세스는 또한 매우 반복 가능하고 재현 가능하며, 매번 정확한 샘플 준비를 보장합니다. 이 자산에는 먼지 입자 (dust particle) 와 다른 오염 물질이 공정에 도입되는 것을 방지하는 통합 여과 (integrated filtration) 모델이 장착되어 있습니다. 여과 모듈에는 일회용 필터 카트리지, 폐액을 수집하는 드레인, 각 사이클 후에 기질을 건조시키는 공기 건조기 (air dryer) 가 포함됩니다. 이것 은 "기판 '의 청결 함 과 완성 된 제품 의 질 을 향상 시켜 준다. 6 개의 DS-SP 장비는 ESD 및 CSA 표준을 준수하며 환경 규정을 준수합니다. 노이즈 (noise) 수준이 낮고 연속 작동 (continuous operation) 모드에서 실행할 수 있으므로 신뢰할 수 있고 깨끗한 샘플 준비 프로세스가 가능합니다. STRASBAUGH 6DS-SP 시스템은 정확하고 일관된 샘플 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 갖춘 강력하고 다양한 툴로서, 다양한 애플리케이션에 적합합니다.