판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293824915

Strausbaugh STRASBAUGH 6DS-SP는 반도체 산업을 위해 설계된 강력하고 다용도 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 제품은 다양한 웨이퍼 (Wafer) 형태와 크기에 대해 고정밀도 (High Precision) 표면을 생산하도록 설계된 고속, 완전 자동화 시스템입니다. 이 장치는 다결정 실리콘, 갈륨 비소 등 다양한 웨이퍼 기질에 대한 연삭, 랩핑, 연마 등 다양한 응용 가능성을 제공합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP는 얇은 웨이퍼를 얇게 만드는 데 특히 효과적이고 효율적인 시스템입니다. 이 도구는 기판의 모든 면에서 동시에 갈기, 랩핑 또는 광택 처리 된 다이아몬드 휠 (diamond wheel) 이 장착 된 고속, 다면적 스핀들을 사용합니다. 이 스핀들은 높은 강성, 낮은 열 팽창 프레임 (low heat expansion frame) 에 수직으로 장착되어 배출 (run-out) 을 최소화하고 프로세스 주기 동안 정확성을 유지합니다. 스핀들 (spindle) 은 동적 속도 제어 및 피드백을 제공하는 정밀 인코더가있는 서보 모터 (servo motor) 에 의해 제어되어 연삭 및 연마 프로세스가 일관되고 반복 가능하도록 합니다. 또한, 이 에셋은 폐쇄 루프 프로세스 제어 (closed loop process control) 를 통해 주로 프로세스의 매개변수를 지정할 수 있고, 컨트롤러에 대한 피드백을 제공하여 프로세스 매개변수를 따르고 있고 원하는 서피스 마무리 (surface finish) 를 달성하도록 합니다. 스핀들 (spindle) 의 근접 센서는 하중 (load forces) 을 모니터링하며, 컨트롤러가 보정합니다. 호환되고 반복 가능한 서피스 마무리 결과를 생성하는 데 도움이됩니다. Strausbaugh 6DS-SP 에는 엔클로저 인터 록 (interlock) 보호 및 연마제 오염 방지 등 다양한 내장 안전 기능도 포함되어 있습니다. 또한, 이 모델은 고정밀도, 고효율 다이아몬드 휠을 사용하는 최적화된 고정밀도 스핀들 (spindle) 을 사용하여 열 확장을 최소화하고 처리 시간을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 레이저 가공, 기존 그라인딩, 얇게, 연마 시스템 등 다양한 연삭, 랩핑, 연마 시스템과 호환됩니다. 또한, 외부 직경이 100mm 인 150jm - 6m에 이르는 두께의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Strausbaugh 6 DS-SP는 정밀성, 반복성 및 정확성을 유지하면서 생산성을 극대화하도록 설계되었습니다.