판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293821519
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ID: 293821519
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2007
CMP Polisher, 6"
Dimensions: 4" x 6" x 8"
ENTEGRIS wafer carrier PA194‑60MB‑61C02
Dual‑lot processing capability with four internal cassettes (2 sender, 2 receiver)
2007 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP (STRASBAUGH 6DS-SP) 는 모든 기능을 갖춘 단일 플래튼, 멀티 헤드 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 다양한 웨이퍼 기판에서 균일하고 잘 제어 된 표면 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 웨이퍼 양쪽에 자동 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 기능을 단일 플래튼, 멀티 헤드 구성으로 제공하여 뛰어난 표면 균일성을 보장합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP 장치는 무한대 축, 모노 링, 단면 및 순차적으로 가공 된 벨 기술과 같은 고급 연마 및 연삭 기술을 사용하여 일관되고 정확한 표면 효과를 달성합니다. 통합 된 현장 도량형 머신 (in-situ metrology machine) 은 각 웨이퍼에서 원하는 표면 마무리를 보장하기 위해 연삭 및 연마 과정을 소급하여 모니터링합니다. 6DS-SP 는 두 헤드에 정교한 로봇 처리 메커니즘을 사용하여 각 헤드를 웨이퍼 (wafer) 표면에 정확하게 배치합니다. 공구는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 찾아서 연마 과정의 추가 불규칙성을 막을 수 있습니다. 6 DS-SP 도 유연성을 위해 설계되었습니다. 진동 분리 테이블 (vbration isolation table) 을 사용하여 미세 진동을 최소화하고 작동 중 자산 정확도를 유지합니다. 또한 다양한 웨이퍼 크기, 모양, 구성을 처리하도록 설계되었습니다. 또한 STRASBAUGH 6DS-SP 모델에는 온보드 웨이퍼 검사 장비가 장착되어 있어 결함 및 불규칙성을 신속하게 파악하고 격리할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 데이터 수집/제어 장치 (Data Acquisition and Control Unit) 를 내장하여 전체 운영 프로세스를 모니터링하고 추적할 수 있는 기능을 제공합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP (DS-SP 6 DS-SP) 는 종합적이고 신뢰할 수 있는 분산 시스템 제어 머신으로 구동되며, 도구 조건, 지표, 데이터를 빠르게 볼 수 있는 사용자 친화적 인터페이스를 제공합니다. 또한 고급 구성 옵션 (Advanced Configuration Option) 을 통해 다용도 및 맞춤형 구성이 가능하므로 사용자가 자신의 어플리케이션에 가장 적합한 시스템을 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 전반적으로 6DS-SP 는 파퍼를 갈고, 랩핑하고, 닦는 데 적합한 고급 자산입니다. 자동화된 제어 모델 (Automated Control Model) 과 다양한 기능 (Suite of Features) 을 통해 사용자는 쉽고 신뢰할 수 있는 방법으로 완벽하게 균일하고 정확한 표면 마무리를 수행할 수 있습니다. 6 DS-SP 는 운영 프로세스를 간소화하고 업무 운영에 품질 (Quality Assurance) 을 부여하고자 하는 모든 기업에 유용한 툴입니다.
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