판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293754576
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STRASBAUGH 6DS-SP (STRASBAUGH 6DS-SP) 는 오늘날의 얇은 웨이퍼 처리 산업의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 정밀성과 높은 생산 처리량을 모두 제공합니다. 이 시스템은 고속, 저소음, 상단 표면 마무리와 저오염 및 최소 주기 시간을 결합합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP의 중앙 구성 요소는 특허를받은 '게이터 (Gator)' 툴링을 사용하여 탁월한 연삭 및 연마 경험을 제공하는 6축 컴퓨터 제어 그라인딩 헤드입니다. 다양한 고속 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 헤드가 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 보호 커버는 공기 오염을 최소화하고, 밀폐 된 챔버는 깨끗하고, 온화하며, 입자가없는 환경을 만듭니다. 6DS-SP 는 직경 200mm ~ 300mm 의 기판을 수용하므로 다양한 씬 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다. 이 장치는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 단단한 기질에서 유리, 세라믹, 알루미늄과 같은 부드러운 기판 응용에 이르기까지 인상적인 기판 범위를 처리 할 수 있습니다. 통합 측정 기계, 온라인 입자 크기 측정 및 플렉스 펄스 (flex-pulse) 기술은 최대 기판 성능과 반복 가능한 일관된 연마 결과를 보장합니다. 정확성을 보장하기 위해 6 개의 DS-SP 에는 고해상도 현미경과 함께 제공되는 비전 카메라가 장착되어 있습니다. "마이크로스코프 '는 최대 30 배 의 배율 로 광택 있는 표면 을 매우 정밀 한 각도 로 검사 한다. 비전 카메라 (vision camera) 는 일정한 성능을 얻기 위해 기판 표면의 고화질 이미지를 빠르고 정확하게 캡처하고 기록합니다. PC 제어가 적용된 모든 기능을 갖춘 터치 스크린은 설치 및 프로그래밍을 위해 빠르고 직관적입니다. STRASBAUGH 6DS-SP 는 최첨단 자동화 기술과 통합된 고급 프로세스 컴퓨터/데이터 로깅 기능을 갖추고 있어 웨이퍼 (Wafer) 처리 성능을 상세하게 파악하고 프로세스 추세를 추적할 수 있습니다. 또한 STRASBAUGH 6 DS-SP 는 자동 오버로드 보호 (overload protection) 및 안전하지 않은 조건에 즉시 반응하는 프로세스 인터럽트 툴 (process interrupt tool) 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 6DS-SP 는 기존 방식의 절반 시간 안에 랩핑 (랩핑) 및 다듬기 작업을 완료함으로써, 최소 주기 시간 (cycle time) 으로 뛰어난 표면 마감 (surface finish) 을 찾으려는 사람들의 선택입니다. DS-SP (DS-SP: 6 DS-SP) 는 탁월한 기능과 편리한 설계를 통해 모든 씬 웨이퍼 프로세싱 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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