판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293597853

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293597853
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SP는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 많은 하이테크 산업의 핵심 구성 요소 인 나노미터 (nanometer) 수준의 표면을 만들도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 6 DS-SP 장치는 반도체 제조에 사용되는 연마 된 실리콘 웨이퍼를 생산하는 데 적합합니다. 6DS-SP 머신은 스테인리스 스틸, 베이스 장착 플랫폼, 고정밀 선형 동작 및 핸드 휠로 설계되어 웨이퍼 표면이 부드럽고 결함이 없도록 합니다. 연삭 장치는 이중 플래튼 디자인, 폴리머 콘크리트 구조 및 6 인치 플래튼 적재 용량을 갖추고 있습니다. 랩핑 및 연마 장치는 세그먼트, 진공 척, 5 축 트림 및 2 축 구성 가능한 플래튼으로 구성됩니다. 이 도구에는 또한 2 개의 독립적 인 웨이퍼 캐리어 디스크와 로딩, 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 용이하게하는 웨이퍼 컨베이어 벨트가 포함되어 있습니다. 6 DS-SP 자산은 마이크로플레인, 교차 연삭, 서브 그라인딩, 표면 연삭 및 결함 병합이 가능합니다. 또한, 이 모델은 반도체 및 광전자 장치에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 에서 초평면 마감을위한 나노 미터 수준의 표면을 생성 할 수 있습니다. 이 장비의 폐쇄 루프 서보 제어 기술은 정확성, 반복 가능성 및 신뢰성을 보장합니다. 이 시스템에는 에지 보호 (edge protection), 물리 가드 (physical guard), 윤활유 제어 (lubrication control), 비상 정지 (emergency stop) 기능과 같은 여러 가지 안전 기술이 향상되었습니다. 또한 STRASBAUGH 6DS-SP 유닛의 사용자는 기계 매개변수를 프로그래밍, 제어하고 동시 프로세스 작업을 활성화하여 전체 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 이 툴에는 사용자 지정 정보를 입력할 수 있는 터치스크린 인터페이스 (touch-screen interface) 와 데이터 로그 및 SPC (statistical process control) 차트의 저장 및/또는 공유가 가능합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스의 최고 품질 및 생산 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 혁신적인 설계, 클로즈드 루프 (closed-loop) 서보 제어, 안전 기능, 자동화 잠재력, 터치 스크린 인터페이스를 통해 사용자는 최고 수준의 정확성, 반복 가능성, 신뢰성을 보장할 수 있습니다.
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