판매용 중고 STRASBAUGH 6DS-SP #293594672

STRASBAUGH 6DS-SP
ID: 293594672
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SP는 정확하고 최적의 품질, 반복 성능 성능을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 웨이퍼 생산에 활용되는이 시스템은 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 통해 올인원 (All-in-One) 자동 처리를 제공합니다. STRASBAUGH 6 DS-SP는 우수한 프로세스 제어를 제공하며, 열등한 단면 마무리 및 완벽한 균일성을 제공합니다. 여기에는 동일한 프로세스 사이클 내에서 뛰어난 반복성과 정확성을 제공하는 프로그래밍 가능한 서보 모터 (servomotor) 및 다이렉트 드라이브 (direct drive) 기능이 포함됩니다. 6DS-SP 에는 마이크로 프로세서 제어 장치를 장착하고 정밀 랩핑 및 연마 성능을 제공하는 자체 포함, 정밀 연삭 및 연마 챔버가 있습니다. 또한, 챔버는 모든 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업에 대해 균형 잡힌 환경을 보장합니다. 또한, 빠르고 효과적인 건조 결과를 제공하는 고급 건조 공정이 특징입니다. 이 기계는 강력하고 유지 보수가 적은 부식 방지 모터 (motor-resistance motor) 와 공랭식 (air-cooling) 을 장착하여 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 6 DS-SP 는 인체 공학적으로 설계된 운영자 인터페이스를 제공하여 운영 효율을 향상시킵니다. 여기에는 직관적인 시각적 디스플레이, 프로세스 테스트 절차 및 데이터 로깅, 기계 진단 및 안전 기능이 포함됩니다. 또한, 운영자는 다양한 프로세스 매개 변수를 설정 및 모니터링하고, 레시피 & 결과를 전송/저장할 수 있습니다. 또한, STRASBAUGH 6DS-SP에는 벨트 피더, 비접촉 선형 포지셔너 및 다중 로더 암을 포함한 통합 도구 구성 요소가 포함되어 있어 운영자 상호 작용을 줄이고 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 또한, 이 자산은 정밀한 하위 시스템을 사용하며, 여기에는 공기와 진공 구성 요소가 모두 포함되어 있어 안정적이고 일관된 웨이퍼 (wafer) 재료 처리를 보장합니다. 전체적으로 STRASBAUGH 6 DS-SP는 반복 가능한 결과로 반도체 웨이퍼 생산을위한 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 이 모델은 쉽게 프로그래밍 가능한 터치스크린 인터페이스, 정확한 재료 처리 능력 및 효율적인 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 모든 프로덕션 라인에서 귀중한 도구입니다.
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