판매용 중고 STRASBAUGH 6DJ #9215639

STRASBAUGH 6DJ는 복합 반도체, 광전자, 광학 및 MEMS 장치 제작에 이상적인 반복 가능한 고수율 마무리를 제공하기 위해 설계된 정밀한 양면 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 도구는 오래된 단면 연삭, 랩핑 및 연마 시스템을 대체하여 향상된 수율, 반복 가능성, 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 6DJ에는 각각 독립적으로 제어 가능한 리프트 및 틸트 축 (tilt axis) 을 가진 2 개의 독립적 인 처리 헤드와 작업 조각의 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스에 대한 정확하고 반복 가능한 제어를 위해 고정밀 W축 변환 단계가 포함됩니다. 두 헤드 모두 Z축 브리지 (Z축 bridge) 에 장착되어 처리 헤드의 더 정확한 이동이 가능하므로 프로세스 반복성과 정확도가 향상됩니다. 각 처리 헤드에는 자동 로드 (automatic loading) 및 언로드 (unloading) 메커니즘이 장착되어 있어 보다 빠르고 효율적인 프로세스가 가능합니다. 연삭 과정은 STRASBAUGH 6DJ의 독점적 인 다이아몬드 연삭 휠 (grinding wheel) 에 의해 수행되며, 이는 낮은 탈구 밀도와 뛰어난 프로세스 반복성을 제공합니다. 랩핑 (Lapping) 은 기계의 수냉식 랩핑 플레이트 (lapping plate) 에 의해 제공되며, 이는 또한 작업 조각에 대한 열 충격을 줄이는 데 도움이됩니다. 기계의 연마 공정은 이중 헤드 연마 휠에 의해 제공됩니다. 또한 CMP (chemical mechanical polishing) 및 기계적 연마 (mechanical polishing) 와 같은 다양한 연마 프로세스에 대해 6DJ를 쉽게 구성 할 수 있습니다. STRASBAUGH 6DJ 제어 시스템은 사용자 친화적 인 작동을 가능하게하며, 각 응용 프로그램 유형에 대한 레시피는 운영자가 쉽게 프로그래밍합니다. 이 장치는 또한 힘 (force) 및 진동 감지 시스템 (vbration sensing system) 을 포함하여 광범위한 프로세스 피드백 및 모니터링 기능을 제공하여 실시간 프로세스 모니터링을 지원합니다. 이러한 기능은 운영자에게 프로세스 (process) 와 작업 (work) 의 품질을 평가하는 필수 데이터를 제공합니다. 6DJ는 매우 다양한 프로세스 기술로, 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 어플리케이션을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다. 이 기계의 다양한 제어 장치 (Control Machine), 듀얼 프로세싱 헤드 (Dual Processing Head) 및 다양한 액세서리 (Accessory) 를 통해 고객은 프로세스 요구 사항을 단순화하여 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. STRASBAUGH 6DJ는 모든 복합 반도체, 광전자, 광학 및 MEMS 장치 요구 사항에 대해 안정적이고 반복 가능한 솔루션을 제공합니다.