판매용 중고 STRASBAUGH 6DG #293665071
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STRASBAUGH 6DG는 반도체 웨이퍼 및 도자기의 얇고 평평하게하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템의 최대 웨이퍼 용량은 6 인치이며, 견고한 구조로 제작되었습니다. Pro-Finish 랩핑 플레이트와 프로그래밍 가능한 속도 제어가 장착되어 있습니다. Pro-Finish 랩핑 플레이트는 팬 제트 노즐 (Fan-Jet Nozzle) 을 특징으로하여 각 측면을 연마 할 때 웨이퍼의 모든 영역에서 균일 한 연마가 가능합니다. 랩핑 플레이트는 프로세스 중단 시 슬러리 (slurry) 유출을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 로드/언로드 헤드 (load/unload head) 와 2 개의 그라인딩 휠 (grinding wheel) 이 포함되어 있으며 1/4 턴 이내에 바퀴를 빠르게 변경할 수 있습니다. "휠 '은 최대 의 두께 와 평평 함 을 균일 하게 제어 하는 특수 한 연마재 로 만들어진다. 이 기계는 또한 프로세스 영역에서 먼지를 제거하는 데 도움이되는 통합 먼지 수집 도구 (integrated dust collection tool) 를 갖추고 있습니다. 자산은 정적 선형 드라이브 (Linear Drive) 기술을 활용하여 정확한 정렬 및 웨이퍼 위치를 제공합니다. 제어 모델은 직관적인 메뉴 탐색, 1 버튼 시작, 자동 프로세스 시퀀스를 제공하여 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 장비에는 평탄성 (flatness) 이상의 웨이퍼 처리 작업을 수행하고 그루브 (grooving), 모서리 그라인딩 (edge grinding), 노치 드릴링 (notch drilling) 과 같은 두께 제어를 수행하는 데 사용되는 여러 가지 자동 프로세스 시퀀스가 있습니다. 6DG에는 베벨링 및 모따기 시스템, 구멍 드릴링 유닛, 베벨링 머신 등의 옵션 기능이 제공됩니다. 이러한 기능을 사용하면 노치 드릴링 (notch drilling), 베벨 밀링 (bevel milling) 및 모따기 (chamfering) 와 같은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 시간 평준화 제어 및 가스 제트 노즐 (gas-jet nozzle) 은보다 균일하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 또한 이 도구는 최적 (optimal) 안전, 낮은 소음, 진동 수준, 그리고 사용자의 높은 품질과 안전을 보장하도록 설계되었습니다. 에셋은 유연하고 모듈성이 뛰어나 사용자 정의 구성 및 기타 프로세스 단계 (예: 에칭, 밀링) 가 가능합니다. STRASBAUGH 6DG는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에서 가장 균일 하고 반복 가능한 결과를 달성하기위한 강력한 플랫폼을 제공합니다.
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