판매용 중고 STRASBAUGH 6DE-DC-4 #9233423

STRASBAUGH 6DE-DC-4는 10 ~ 200mm 웨이퍼 처리에 적합한 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 단일 포인트 다이아몬드 그라인딩 휠 및 랩핑 플레이트를 목표로 최신 연마 기술을 사용합니다. 이 장치는 6DOF (6DOF) 플랫폼을 기반으로 구축되어 간단한 연삭 (Grinding) 에서 보다 복잡한 랩핑 및 연마 작업까지 모든 작업을 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. 6DE-DC-4는 컴퓨터 숫자 제어 (CNC) 포지셔닝 및 미세 제어를 사용하여 높은 정확도를 제공합니다. 연마 원반 은 "액츄에이터 '를 사용 하여" 웨이퍼' 주위 로 이동 되는데, 이 곳 에서는 일련의 전략적 으로 배치 된 "노즐 '이 연마 유체 의 압력 과 흐름 을 조절 한다. STRASBAUGH 6DE-DC-4는 고급 검사 기능도 통합했습니다. 라인 카메라 (Frame Grabber Technology) 를 사용하여 웨이퍼 서피스를 정확하게 검사하고 처리 오류를 확인할 수 있습니다. 그런 다음, 프로세스 데이터를 사용하여 처리 매개변수를 최적화하여 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 단층 (single-layer) 및 다중 (multi-layer) 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있으며, 단층 유체 강도가 다른 2 단계로 처리 할 수 있습니다. 이렇게 하면 각 레이어가 그라운드 (ground) 되고 동일한 레벨로 광택됩니다. 6DE-DC-4 (6DE-DC-4) 는 매우 높은 표면 마감과 평평함을 달성 할 수 있으며 두꺼운 웨이퍼를 처리 할 수도 있습니다. 그것 은 "실리콘 '과 화합물" 반도체' 재료 의 생산 에 사용 되며, 기존 의 제조 "라인 '과 통합 되기 쉽다. STRASBAUGH 6DE-DC-4는 처리량이 높으며 뛰어난 프로세스 유연성과 제어 기능을 제공합니다. 따라서 높은 정확도, 높은 처리량, 효율성을 필요로 하는 모든 작업에 이상적인 선택이 됩니다.