판매용 중고 STRASBAUGH 6DE-DC-1 #293807565

ID: 293807565
Polishers DC Drive Platten, 6" (2) 1/2 HP Motors Spindle load: 1720 lbs Spindle torque: 150 lbs Eccentric motion, 8" Oscillating arm, 3" Oscillating speed: 10 to 200 RPM Digital timer for polishing cycles, 150 RPM Power supply: 220 V, Single phase, 50/60 Hz.
STRASBAUGH 6DE-DC-1은 모든 유형의 반도체 재료에서 고정밀도 및 뛰어난 표면 품질을 달성하도록 설계된 고급, 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. STRASBAUGH 6DE-DC1 시스템은 최대 1.5mm 두께의 매우 얇은 (< 100 미크론) 에서 두꺼운 웨이퍼까지 모든 유형의 재료를 수용 할 수있는 6 인치 원형 플랫폼으로 설계되었습니다. 그린딩 암 (grinding arm) 의 정확하고 반복 가능한 움직임을 보장하는 산업용 스테퍼 모터가 포함되어 있습니다. 이동식 랩핑 플레이트 (removable lapping plate) 도 장치와 통합되어 초박형 웨이퍼를 빠르고 쉽게 연마/랩핑 할 수 있습니다. 6DE-DC-1은 고성능 직접 구동 모터로 구동되어 뛰어난 속도와 안정적인 정확성을 제공합니다. 또한 디지털 진공 제어 (digital vacuum control) 기능은 샘플 접착을 방지하는 데 도움이되고 냉각 팬은 일관된 결과를 얻기 위해 정확한 온도 조절을 보장합니다. 6DE-DC1 은 또한 다양한 맞춤형 작업 및 제어 매개변수를 포함하고 있어, 고유한 처리 요구 사항을 충족합니다. 여기에는 연마 시간과 압력 설정을 제어하도록 조정할 수 있는 자동 정지 (Auto-Stop) 기능이 포함됩니다. 이 기계는 또한 특허를받은 표면 도량형 교정 도구 (surface metrology calibration tool) 와 고급 PLC 도구 (advanced PLC tool) 를 갖추고 있어 프로세스에 대한 정확한 실시간 피드백 및 보고를 제공합니다. 안전성 측면에서 STRASBAUGH 6DE-DC-1에는 잠재적 인 위험으로부터 운영자를 보호하기위한 차폐 (shielding) 및 위험에 대비한 즉각적인 자산 종료를위한 모션 센서 (motion sensor) 를 포함하여 다양한 보호 장치가 장착되어 있습니다. 또한 잠재적 인 위험 입자를 포착 및 제거하는 공기 필터가 포함되어 있습니다. STRASBAUGH 6DE-DC1 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 모델은 모든 유형의 반도체 재료를 처리하기위한 혁신적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 견고한 디자인과 고정밀도 기능으로 최대 1.5mm 두께의 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정밀하게 처리할 수 있으며, 매번 뛰어난 표면 품질과 반복 가능한 성능을 제공합니다. 통합 안전 예방 조치를 갖춘 6DE-DC-1 장비는 웨이퍼 처리 요구 사항을 마스터하는 데 완벽한 도구입니다.
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