판매용 중고 STRASBAUGH 6DE-4 #9025071

STRASBAUGH 6DE-4
ID: 9025071
Polisher.
STRASBAUGH 6DE-4는 생산 처리량을 위해 설계된 강력한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 독보적인 구성은 Wafer 의 재배치가 필요 없이 한 단계로 이루어집니다. 6DE-4 는 단일 플랫폼으로 모든 wafer grinding, lapping 및 polishing 작업을 수행할 수 있으며, 최고 수준의 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. STRASBAUGH 6DE-4는 회전 턴테이블에 장착 된 이중 드라이브, 정밀 접지 표면을 사용하여 여러 웨이퍼를 동시에 연삭, 랩 및 연마 할 수 있습니다. 이 시스템은 오픈 루프 (open-loop) 모션 컨트롤을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 배치하고 최고 품질의 연마 성능을 제공합니다. 6DE-4는 또한 견고한 모든 금속 프레임, 보호 커버를 통해 작동 중 정확성과 보호를 보장합니다. 생산 효율성을 더욱 최적화하기 위해 STRASBAUGH 6DE-4는 최첨단 로봇 기술을 갖춘 자동 연삭, 랩핑 및 연마 방법을 사용합니다. 고급 프로세스 내 감지 (in-process sensing) 시스템을 사용하여 6DE-4 는 최적의 연마 성능을 위해 웨이퍼 (wafer) 의 재료 특성을 기반으로 운영 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 또한, STRASBAUGH 6DE-4는 다중 헤드 로드/언로드 시스템을 통합하여 웨이퍼가 장치에 공급되는 동안 작업이 발생할 수 있습니다. 6DE-4는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 제공합니다. 이 장치는 닫힌 루프 (closed-loop) 작업을 지원하므로 프로세스 정확도가 가장 높습니다. 또한, 이 시스템은 광범위한 소프트웨어/하드웨어 기반 모니터링 기능을 지원하므로 실시간 데이터 기반 프로세스 제어가 가능합니다. 안전하고 깨끗한 작업 환경을 보장하기 위해 STRASBAUGH 6DE-4 (STRASBAUGH 6DE-4) 는 인접한 모든 우물에서 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 공정으로 생성 된 모든 먼지와 잔해를 보유합니다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 에 오염 이 없게 하고 공기 입자 의 위험성 을 감소 시킨다. 전반적으로, 6DE-4는 오늘날 진화하는 반도체 산업의 성능 요구 사항을 훨씬 초과하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 각 작업에 대해 가장 높은 수준의 안전, 정확성, 반복 가능성 및 처리량을 제공합니다.
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