판매용 중고 STRASBAUGH 6DE-1 #9256748

STRASBAUGH 6DE-1은 반도체 웨이퍼 및 기타 관련 기판의 정밀 재료 제거 및 개선 된 표면 매끄러움을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 고정밀도, 프로그래밍 가능한 6 축 동작 제어 장치를 사용하여 전통적인 기계식 그라인딩 머신에 대한 연삭, 랩핑, 연마 프로세스에 대한 뛰어난 수준의 제어를 제공합니다. 6DE-1의 심장은 매끄럽고, 반복 가능하며, 각진 연삭/랩/연마 과정을 제공하는 6 개의 CNC 서보 제어 축에 있습니다. 연삭/랩 스테이지의 주요 구성 요소는 프로그래밍 가능한 고정밀 CNC 서보 제어 로봇 암 (CNC servo-controlled robot arm) 으로, 원하는 결과를 얻기 위해 연마 프로세스의 움직임을 정확하게 제어합니다. "로봇 '암은 수평· 수직 조정능력을 제공하기 위해 지원암에 장착되고, 연마 헤드는 아크릴 스탠드 오프 (stand-off) 에 장착되어 연마 작업 중 보다 정확한 위치를 확보한다. 이 기계는 또한 다이아몬드 함정 플래튼을 사용하여 우수한 연마 결과를 제공합니다. 이 플래튼은 4 개의 AC 유도 모터에 의해 구동되며, 이는 사용되는 연마제 유형에 맞게 특별히 설계되었습니다. 플래튼 (Platen) 은 트랙 도구에 고정되어 있으며, 플래튼 (Platen) 은 느리고 잘 제어 된 움직임에서 고속 표면 연마로 가변 속도로 이동할 수 있습니다. 원하는 표면 마무리를 달성하기 위해 플래튼 속도 (platen speed) 와 연마 압력 (polishing pressure) 을 변화시킬 수도 있습니다. STRASBAUGH 6DE-1 (STRASBAUGH 6DE-1) 은 자동화된 청정실 작동을 위해 설계되었으며, 이는 기질의 오염을 최소화하는 데 도움이됩니다. 자산에는 폐쇄 루프 여과 모델 (closed-loop filtration model), 프로세스 온도 제어 및 모니터링 기능, 프로세스 이상 자동 감지 및 종료 (automatic detection and shutdown) 와 같은 오염으로부터 보호하기 위해 수많은 기능이 장착되어 있습니다. 6DE-1은 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 및 기타 관련 기판의 고정밀 재료 제거 및 개선 된 표면 매끄러움 (surface smoothness) 에 대한 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 6DE-1은 프로그래밍 가능한 6 축 동작 제어 시스템, 다이아몬드 임프리 게이트 플래튼, 수많은 안전 및 오염 기능으로, 정밀 웨이퍼 머시닝을 위해 특별히 설계된 장치입니다.