판매용 중고 STRASBAUGH 6C #9298685

ID: 9298685
Polisher.
STRASBAUGH 6C는 STRASBAUGH Technologies Incorporated에서 제조 한 CNC 기반 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 업계의 요구사항을 충족시키기 위해 개발된 "고효율적이고 비용 효율적인 '생산 머신입니다. 30 년 전에 개발되어 그 이후로 세련된 6C는 광범위한 제조 공정에 사용될 수 있으며, 단면 (single-side wafer) 및 양면 (double-sided) 웨이퍼를 연마 및 연마 할 수 있습니다. STRASBAUGH 6C 시스템은 견고한 지원 프레임에 장착 된 로터리 샤프트에 부착 된 일련의 클램핑, 그라인딩, 랩핑 및 연마 스포크를 포함합니다. 모든 장비는 다양한 웨이퍼 크기, 두께, 생산률 (production rate) 요구 사항을 처리할 수 있는 강력한 드라이브 모터에 의해 제어되고 구동됩니다. 회전 샤프트 (rotary shaft) 의 중앙에 위치한 클램핑 스포크 (clamping spokes) 는 웨이퍼를 제자리에 고정시키고, 그라인딩, 랩핑 및 연마 스포크는 샤프트 (shaft) 의 바깥 가장자리 주위에서 연속적으로 회전합니다. 단면 웨이퍼 그라인딩의 경우, 투명 폴리머 abradant 패드 (transparent polymer abradant pad) 가 그라인딩 스포크 위에 사용되며, 기존 패턴에 최소한의 영향을 미치는 표면의 완전하고 균일 한 블렌드를 허용합니다. 양면 그라인딩의 경우, 다이아몬드 팁 마비 디스크가있는 로터리 그라인딩 헤드 (rotary grinding head) 가 양쪽의 정밀 그라인딩에 동시에 사용됩니다. 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 작업은 엄격한 공차로 설계되었으며 뛰어난 거울과 같은 마무리를 만들 수 있습니다. 로터리 랩핑 인클로저에는 일련의 소형 구동 스핀들 (spindle unit) 이 있으며, 각각 정밀 균형 스테인리스 플레이트로 구성되어 있습니다. 스핀들 (spindle) 장치에는 활성화되면 고압 냉각수 흐름에 의해 구동되는 몇 가지 다이아몬드 공구가 포함되어 있습니다. 연마제 의 선택 에 따라, 이러 한 제어 된 냉각제 "제트 '는 느리게, 그러나 계속 하여" 웨이퍼' 표면 의 크기 를 조정 하는 데 도움 이 되며, 뛰어난 표면 마무리 를 갖춘 완전 히 평평 한 표면 을 남긴다. 마지막으로, 특별히 설계된 연마 스핀들 (spindle) 장치를 사용하여 반사적이고 부드러운 거울과 같은 마무리를 더 연마합니다. 6C는 낮은 전력 소비량과 탁월한 수준의 정확성, 속도, 반복성을 특징으로합니다. STRASBAUGH 6C 장치는 자동화 (automation) 및 재순환 냉각수 (recirculating coolant) 시스템을 추가하여 결과의 생산성과 반복성을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 이 "머신 '은 가장 까다로운" 응용프로그램' 에서 견고 한 설계 와 일관성 을 유지 할 수 있는 능력 으로 인하여 "반도체 '산업 을 가장 좋아하게 되었다.
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