판매용 중고 STRASBAUGH 6BU #9045660

ID: 9045660
웨이퍼 크기: 5"
Bench top polishers, 5" (1) spindle.
STRASBAUGH 6BU는 웨이퍼 준비 및 반도체 장치 제조에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 6BU는 경량, 고정밀 시스템으로 최대 6 인치 웨이퍼를 정확하게 갈고, 랩하고, 연마하도록 설계되었습니다. 통합 랩 플레이트, 전동 그라인딩 휠, 공기 베어링 스핀들이 특징입니다. 이 단위는 부드러운 서피스, 플랫 서피스, 예리한 모서리, 높은 균일성을 포함하여 단단한 사양을 달성하도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 6BU (Integrated Lap Plate) 는 연삭 및 랩 작업 중에 웨이퍼를 고정하는 데 사용되는 통합 랩 플레이트를 특징으로합니다. 이 랩 플레이트 (lap plate) 는 연삭 및 연마 작업 중 우수한 표면 컨디셔닝을 제공하도록 설계된 고열 및 저마찰 물질로 구성됩니다. 랩 플레이트는 또한 조정 가능한 깊이 컨트롤 머신 (depth control machine) 을 특징으로하며, 이를 통해 연산자는 그라인딩 및 랩핑 작업의 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 6BU (Motorized Grinding Wheel) 도 포함되어 있으며, 이를 통해 웨이퍼 표면을 정확하게 분쇄할 수 있습니다. 이 그라인딩 휠은 효율적이고 반복 가능한 공정을 제공하는 고출력 모터에 의해 구동됩니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 에는 절삭 깊이를 쉽고 정확하게 조정하기 위해 공구가없는 도구가 장착되어 있습니다. STRASBAUGH 6BU는 또한 공기 베어링 스핀들 (air bearing spindle) 을 특징으로하며, 웨이퍼를 연마 할 때 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다. 스핀들 (spindle) 은 자동화 및 수동 작동 모드를 갖춘 프로그래밍 가능한 소프트웨어에 의해 제어됩니다. 이 소프트웨어는 또한 이동 속도, 회전 속도, 스핀들 드라이브 전류 (spindle drive current) 와 같은 매개변수를 쉽게 조정할 수 있도록 합니다. 6BU (6BU) 에는 내구성 있는 2채널 스핀들 속도 모니터와 최첨단 비전 (vision) 에셋을 포함한 주변 장치 제품군이 장착되어 있습니다. 비전 모델은 고해상도 디지털 카메라를 사용하여 연삭, 랩핑, 연마 작업의 진행 상황과 품질을 모니터링합니다. 비전 장비 (vision equipment) 는 또한 추가 검사를 위해 연삭 및 랩핑 작업에서 벗어나 결함 웨이퍼를 자동으로 식별하고 이동하는 데 사용됩니다. STRASBAUGH 6BU는 경량, 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 높은 정확도로 단단한 사양을 달성하도록 설계되었습니다. 통합 랩 플레이트, 전동 그라인딩 휠, 에어 베어링 스핀들 (air bearing spindle) 은 뛰어난 성능과 반복성을 제공합니다. 이 장치에는 2 채널 스핀들 속도 (spindle speed) 와 정확한 모니터링을위한 비전 머신 (vision machine) 을 포함한 주변 장치 제품군이 장착되어 있습니다. 6BU는 웨이퍼 준비 및 반도체 장치 제조에 이상적입니다.
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