판매용 중고 STRASBAUGH 6BL #9137743

STRASBAUGH 6BL은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 회전 연삭/연마 테이블, 양쪽 끝에 장착 된 2 개의 정밀 랩핑 헤드 및 컴퓨터 화 된 로봇 암으로 구성됩니다. 연삭/연마 테이블 및 랩핑 헤드는 광학, 평면 및 반도체 웨이퍼를 정확하게 처리하기 위해 함께 작동합니다. 로터리 테이블에는 처리 중에 최대 2 개의 6 인치 표준 웨이퍼를 수용 할 수있는 6 인치 연삭/연마 영역이 있습니다. 최대 제어 및 유연성을 허용하는 가변 속도 모터에 의해 구동됩니다. 두 개의 랩핑 헤드는 파퍼를 갈고 연마 할 때 추가 수준의 컨트롤을 제공합니다. 헤드는 서보 제어 진동 (servo-controlled oscillation) 을 특징으로하며, 사용자가 원하는 서피스 마무리를 달성하기 위해 올바른 양의 랩핑 압력 (lapping pressure) 과 이동 (movement) 을 정확하게 적용할 수 있습니다. 또한, 래핑 헤드는 기존의 래핑 (lapping) 구성 또는 델타 (delta) 디스크 구성으로 구성하여 연삭 및 연마 시 최적의 조정을 가능하게 할 수 있습니다. 로봇 암은 최적의 정밀도 및 반복성을 위해 완전 자동화 된 로봇 공정 제어를 특징으로합니다. 이 기능을 사용하면 와퍼를 완전히 정확하게 갈고 닦을 수 있습니다. 또한, "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 연삭/연마 하는 머리 와 "랩핑 '머리 에 신속 하고 능률적 인 방법 으로 장착 할 수 있게 해 준다. 6BL 웨이퍼 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 장치 (polishing unit) 는 다양한 광학 평면 및 반도체 웨이퍼의 정밀 연삭 및 연마를위한 이상적인 도구입니다. 이 기계는 제어 가능한 속도, 서보 제어 힘 (servo-controlled force) 및 로봇 공정 제어 (robotic process control) 의 조합을 제공하여 최적의 성능과 반복성을 제공합니다. 이 도구는 다양한 산업용 (industrial application) 에 사용하기에 적합한 신뢰할 수 있는 도구입니다.