판매용 중고 STAHLI DLM 700-3 #9195339

STAHLI DLM 700-3은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 뛰어난 결과와 높은 정확도 처리를 제공합니다. 이 다목적 건식 공정 시스템은 단일 설정에서 두께가 2mm ~ 18mm, 직경이 150mm ~ 300mm 인 여러 웨이퍼 유형을 동시에 연삭, 랩 및 연마할 수 있습니다. 최대 3 개의 독립적 인, 프로그래밍 가능한 연삭 및 연마 스핀들 (spindle) 로 구성되며, 모두 단일 토크 모터로 통합되고 구동됩니다. DLM 700-3 은 인프로세스 감지 (in-process sensing), 제거 속도 (removal rate) 및 서피스 마무리에 대한 피드백 제어 (feedback control) 및 다양한 프로세스 레시피와 같은 고급 자동화 기능을 포함하여 랩핑 및 연마 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어하는 유일한 장치입니다. 높은 처리량 생산의 경우, 머신은 병렬 처리를 위해 추가 스핀들을 위해 쉽게 확장 할 수 있습니다. STAHLI DLM 700-3 (STAHLI DLM 700-3) 은 각 웨이퍼가 랩핑 및 연마 스핀들을 통해 자동으로 공급되므로 뛰어난 제거 정확도를 제공합니다. 통합 비전 및 진행 중 도량형 시스템은 랩핑 및 연마 결과를 최적화하기 위해 중요한 피드백을 제공합니다. 이러한 시스템을 사용하면 도구가 자동으로 안정적으로 작동하여 표면 마무리 (surface finish) 와 뛰어난 제거 (superior removal) 정확도를 얻을 수 있습니다. 또한 표준 프로세스 카세트 (process cassette) 로 설계되어 설치 시간이 단축되고 생산성이 높아집니다. SLM 700-3 에셋은 가장 까다롭고 까다로운 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 빠른 속도와 정확도로 대규모 (대규모) 생산을 가능하게 합니다. 이 다재다능하고 완전 자동화 된 모델은 표준 랩핑 플레이트 (lapping plate) 에서 고급 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및 다이아몬드 마모에 이르기까지 다양한 공정 도구를 통합합니다. 뿐 만 아니라, 그 장비 는 슬러리 (slurry) 분배기 를 사용 하여, 여러 가지 공정 유체 를 정확 하게 제어 할 수 있게 해 준다. 이 시스템은 또한 파퍼를 처리하면서 깨끗하고 안전한 환경을 유지할 수 있으며, 먼지 추출 장치 (dust extraction unit), 환기 (ventilation), 음향 모니터링 (acoustic monitoring) 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. 전반적으로 DLM 700-3 은 다양한 유형의 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 처리할 수 있는 강력한 머신입니다. 최고 수준의 정확성 (Accuracy) 및 신뢰성 (안정성) 을 능가하도록 설계되었으며 대용량 생산 (Production) 또는 연구 개발 (Research and Development) 애플리케이션 모두에 최적화된 플랫폼을 제공합니다. STAHLI DLM 700-3 (STAHLI DLM 700-3) 은 업계 최고의 Wafer 제조업체로서, 까다로운 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 가장 다양성과 유연성을 제공합니다.