판매용 중고 SPM Y-09065A #9153429

SPM Y-09065A
ID: 9153429
빈티지: 2009
High temperature acid cleaning machine 2009 vintage.
SPM Y-09065A는 고급 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조 및/또는 포장과 관련된 응용 프로그램 연마 솔루션을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 종류의 조용하고 고성능 모터가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 표면을 정확하고 효율적으로 연마, 랩핑, 연마할 수 있습니다. 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 개별 웨이퍼의 지속적인 연삭, 랩핑 및 연마 할 수있는 자동 인덱스 기능이 있습니다. 그라인딩 휠, 연마 벨트 및 연마 패드의 조합을 사용하여 Y-09065A 연삭, 랩 및 광택. 2 개의 높은 토크 스핀들이 장착되어 있는데, 이 스핀들은 분당 0 ~ 126 회전의 속도로 작동하며 TSV 및 기판 공극과 같은 높은 종횡비 응용 프로그램에서 최대 0.12 "m RMS의 미세 조정 된 표면 마감을 제공합니다. 이 장치는 고급 모션 컨트롤 (Motion Control) 및 비전 (Vision) 기술을 사용하여 웨이퍼 표면과 관련하여 연삭 및 연마 퍽의 정확한 위치를 보장합니다. 운동학적 연마 헤드 블록 (kinematic polishing head block) 을 사용하면 표면 마무리를 달성하면서 안정성과 정확한 표면 제어를 제공합니다. 에어 베어링 (air-bearing) 기술을 통해 SPM Y-09065A는 단일 모터를 사용하여 모든 프로세스를 구동하는 동시에 우수한 진동 격리와 저전력 소비를 제공합니다. 진동이없는 작동으로 뛰어난 표면 프로파일, 평평함 및 매우 매끄러운 마무리를 달성 할 수 있습니다. 이 기계에는 스핀들 모터 (spindle motor) 의 수명을 늘리고, 마찰을 줄이고, 윤활유 관련 유지 관리 비용을 제거함으로써 공구 (tooling) 의 수명을 증가시키는 정역학적 윤활화 도구가 포함되어 있습니다. Y-09065A (Y-09065A) 는 경쟁 시스템 비용의 일부에 대해 뛰어난 반복성으로 고품질 마감 효과를 낼 수 있습니다. 비용 효율적인 설계를 통해 부가적인 액세서리 (accessory) 가 필요하지 않으므로 높은 처리량 (throughput) 과 비용 절감 (cost saving) 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 됩니다. 이 자산은 다양한 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 재료와 호환되며 다양한 응용 프로그램 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다.
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