판매용 중고 SPITFIRE 360 #9236967

ID: 9236967
Polisher.
스핏파이어 360 (SPITFIRE 360) 은 반도체 웨이퍼에 뛰어난 평면도 및 표면 품질을 제공하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 및 언로드 기능을 제공하며 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 최적화합니다. 360에는 3 개의 독립적 인 동작 축이 있습니다. 회전 축 (rotary axis) 은 효율적인 연삭 및 랩 작업을 위해 일정한 회전 속도를 제공합니다. 연삭, 랩핑 및 연마 중 웨이퍼 위치 제어에 대한 X-Y 축; 그라인드 및 랩핑 깊이 제어의 정확한 미세 튜닝을위한 Z축. 스핏파 이어 360 (SPITFIRE 360) 의 연삭 헤드는 두 부분으로 나뉩니다. 웨이퍼 표면을 원하는 모양으로 갈아내는 외부 컨투어 휠; 그리고 정확한 표면 평면 정확도와 두께의 균일성을 제공하는 내부 랩핑 휠 (internal lapping wheel). 랩핑 휠은 도금 다이아몬드 (plated diamond) 또는 기타 연마 재료를 사용하여 매우 정교하고 균일 한 랩핑 성능을 제공합니다. 360은 완전하게 자동화된 작동 (operation) 모드를 통해 운영자의 개입을 최소화하면서 처리량을 극대화할 수 있습니다. 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 에는 장치 문제 해결 및 보정을 위한 다양한 입력 및 출력이 장착되어 있습니다. 이것은 연삭, 랩핑 및 연마 공정에서 높은 수준의 제어 및 유연성을 제공합니다. 또한 SPITFIRE 360은 다양한 웨이퍼 크기와 직경을 위해 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 프로세스에 대해 다양한 웨이퍼 (wafer) 모양과 크기를 처리 할 수 있습니다. 360은 매우 안정적이고 내구성이 뛰어난 기계이며 지속되도록 제작되었습니다. 산업용 (industrial-grade) 구성 요소는 운영 실행의 엄격함을 처리하도록 설계되었으며, 폐쇄 루프 (closed-loop) 도구는 포괄적인 결함 보호 및 실시간 진단을 제공합니다. 또한, SPITFIRE 360은 안전 표준을 충족하거나 초과하도록 설계되었으며, 깨끗하고 안전한 운영 환경을 제공합니다. 전반적으로, 360은 우수한 표면 마무리 및 반도체 웨이퍼의 평평함을 제공하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산입니다. 강력한 기능, 신뢰할 수 있는 구성 요소, 사용자 친화적인 안전 기능을 통해 SPITFIRE 360은 일관되고 정확한 결과를 요구하는 사람들에게 이상적인 모델입니다.
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