판매용 중고 SPEEDFAM SP 800 #9257666
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ID: 9257666
Single-sided polishing machine
Surface plate diameter: φ813 mm
Pressure plate diameter: φ680 mm.
SPEEDFAM SP 800은 마이크로 일렉트로닉, 세라믹 및 기타 재료의 고정밀 분쇄를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 다양한 웨이퍼에서 평평하고 평행 한 서피스를 생산하는 데 사용되며, 웨이퍼에 걸쳐 평평함, 서피스 거칠기, 병렬 처리 (parallelism) 의 균일성을 제공합니다. SP 800 은 다기능 연삭, 랩핑 및 연마 장치를 갖춘 자동 시스템입니다. 단일 주기로 다양한 그라인딩, 랩핑, 연마 작업을 수행하기 위해 프로그래밍 될 수있는 단일 스핀들 (spindle) 이 특징입니다. 회전 드라이브 (rotary drive with adjustable speed) 로 구동되며 디스플레이가 있는 제어 장치 (Control Unit) 가 장착되어 있어 그라인딩 매개변수와 설정을 쉽게 관리할 수 있습니다. 이 장치는 환경 실 (environmental chamber) 내에서 작동하도록 설계되었으며 통합 진공 작동을 제공합니다. SPEEDFAM SP 800은 모듈식 설계와 프로그래밍 가능한 중앙 집중식 시스템으로 인해 최고의 효율성과 유연성을 제공합니다. 중심 링은 각 웨이퍼 (wafer) 에 맞게 조정 가능하며, 단단한 공차를 가진 완벽하게 평평한 웨이퍼를 제공합니다. 또한 SP 800 에는 정렬 축을 모니터링하고 제어하여 결과의 정확도를 높일 수 있는 통합 교정 툴이 있습니다 (영문). SPEEDFAM SP 800에는 광학 수차를 수정하기 위해 변형 가능한 미러 자산도 있습니다. 이를 통해 웨이퍼는 완벽하게 평평하고 광학적으로 균질합니다. 또한, "웨이퍼 '들 은" 다이아몬드' "랩핑 '판 으로 싸여 필요 한 표면 마무리 와 평평 함 을 얻을 수 있다. SP 800 은 다양한 연삭 및 연마 액세서리를 갖추고 있으며, 쿼츠, 융합 실리카, 사파이어, 금속, 플라스틱, 도자기 등 다양한 소재로 작업할 수 있습니다. 이 모델에는 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있으며, 그라인딩 휠 직경 (grinding wheel diameter), 속도 (speed), 스트로크 (stroke) 와 같은 다양한 사용자 정의 옵션이 제공됩니다. SPEEDFAM SP 800은 또한 다양한 작업을 위해 프로그래밍 할 수있는 자동 샘플러를 제공합니다. SP 800 은 고정밀 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 프로세스에 적합한 선택입니다. 안정적이고 내구성이 있으며 작동이 쉽습니다. 또한 다양한 기능을 갖춘 SPEEDFAM SP 800은 최소한의 노력으로 탁월한 성능을 제공할 수 있습니다.
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