판매용 중고 SPEEDFAM SP 800 #143296

SPEEDFAM SP 800은 고급 반도체 웨이퍼를 반복적으로, 정밀하게 처리하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 통합 공기 베어링 지원, 조절 및 구성 가능한 연마 단계, 완전 자동화 추적 기능을 갖춘 탁상 장착 스핀들 작업 헤드 (Tabletop-mounted spindle Workhead) 로 구성됩니다. 이 시스템은 공기 베어링 (air bearing) 을 갖춘 높은 토크, 저속 스핀들 (low-speed spindle) 을 사용하여 웨이퍼의 자신감있는 처리 및 정확한 위치 설정, 효과적인 연마 작업을 위해 조절 가능하고 구성 가능한 연마 단계를 제공합니다. 부하 (load) 를 모니터링하고 프로세스 (process) 를 안정적이고 일관성을 유지하여 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 완전 자동화 된 추적 가능성 기계는 연삭 및 연마 매개변수, 오류 복구 기록, 역사적 추세 등 연마 과정에 대한 정확한 기록을 제공합니다. 이것은 결함으로 인한 스크랩 및 재 작업을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한 프로세스 제어 매개변수와 경보 관리가 통합된 직관적인 그래픽 HMI 를 제공합니다. 또한 다양한 액세서리 (액세서리) 를 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 공구를 사용자 정의하고 다른 다듬기 (polishing) 응용 프로그램에 맞게 구성할 수 있습니다. 전반적으로, SP 800 은 고급 반도체 웨이퍼 재료의 반복 가능하고 고정밀 처리에 이상적인 선택입니다.