판매용 중고 SPEEDFAM SNG-32SPAW #9203850

SPEEDFAM SNG-32SPAW
ID: 9203850
Single sided polisher, 32".
SPEEDFAM SNG-32SPAW는 대형 웨이퍼를 신속하게 처리하도록 설계된 고출력 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 다기능 시스템은 직경이 최대 8 "(200mm) 인 단일 및 다중 레이어 웨이퍼에 균일 하고 고품질 결과를 생성하는 데 이상적입니다. SNG-32SPAW는 웨이퍼 척 (wafer chuck) 으로 시작하여 일련의 정밀 연삭, 연마 및 랩핑 작업을 통해 완전히 자동화 된 프로세스를 제공합니다. 연마 테이블 (polishing table) 은 웨이퍼의 원하는 두께를 유지하기 위해 일정한 힘 제어 장치 (force control unit to) 와 실시간 입자 충격 측정 기계 (real-time particle impact measurement machine) 를 사용하여 낮은 응력, 고정밀 연삭 및 연마 기능을 제공하도록 설계되었습니다. "와퍼 '의 연삭," 랩핑' 및 연마 는 일련 의 "다이아몬드 '슬러리 와" 다이아몬드' 화합물 로 이루어지며, 특히 기계 가 사용 하는 각 용도 에 맞추어 공식화 된다. 이 도구는 RPM, 압력, 선택적 액체 분포 속도를 조정함으로써 정밀한 정확도로 여러 웨이퍼를 동시에 연삭, 랩핑, 연마 할 수 있습니다. 또한, 프로세스에 사용 된 연마제 입자는 최적의 결과를 유지하기 위해 지속적으로 모니터링되고 변경됩니다. SPEEDFAM SNG-32SPAW는 또한 고속 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 를 갖추고 있습니다. 고속 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 는 처리 된 웨이퍼에서 모든 입자를 제거하고 공기 진공 및 이온 화 된 물의 조합을 사용하여 나머지 잔해와 잔기를 플러시합니다. 청소 후, 웨이퍼를 수동으로 검사한 다음 전용 저장 및 검사 영역으로 이동합니다. 이 머신은 매우 안정적이고 비용 효율적이며, 사실상 다운타임 없이 유지 보수 (maintenance) 를 최소화합니다. SNG-32SPAW는 사용자 친화적이며, 운영자에게 간단한 명령 및 빠른 작동을 제공하여 품질 웨이퍼 생산을 극대화합니다. 결과적으로 SPEEDFAM SNG-32SPAW는 비용 효율적인 웨이퍼 제조를 위한 효율적이고 안정적인 선택입니다.
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