판매용 중고 SPEEDFAM SNG-32BAW #9279646

SPEEDFAM SNG-32BAW
ID: 9279646
Single sided polisher.
SPEEDFAM SNG-32BAW는 완전 자동화 된 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 6 인치, 8 인치, 12 인치 및 16 인치 직경의 웨이퍼를 최대 16 인치 용량으로 처리하도록 설계되었습니다. 열 드리프트 감소 및 정확성 향상, 3 단계 스핀들 속도 제어 시스템 (spindle speed control system) 을위한 액체 냉각 스핀들이 특징입니다. 이 장치는 또한 연삭, 랩핑, 연마 과정을 정확하게 제어하고, 프로세스 변화를 최소화하고, 제품 수율을 개선하도록 설계되었습니다. SNG-32BAW 기능에는 온도 안정성을 유지하기 위해 다중 영역 환경 케이스가있는 PLC 컨트롤러가 포함됩니다. 이 기계에는 1 개 또는 2 개의 웨이퍼를 동시에 갈아 넣도록 구성 할 수있는 2 개의 개별 헤드 스탁이 장착되어 있으며, 정확하고 작은 마이크로 컷 그라인딩 정확도를 위해 고정밀 척 장치 (high-precision chuck unit) 가 있습니다. 기계는 또한 일관된 연삭 압력을 위해 고압 윤활기를 포함합니다. 랩 공정은 헤드 스탁에 장착 된 내부 행성 기어 도구로 완료됩니다. 이 기계는 변위 정확도 ± 0.3 jm의 고정도 회전 동작 드라이브 자산을 갖추고 있습니다. 또한 랩 속도 조정을위한 3 구역 가변 속도 회전 동작 제어 모델과 6, 8, 12, 16 인치 직경 웨이퍼 사이에서 빠르게 전환 할 수있는 기능을 제공합니다. SPEEDFAM SNG-32BAW는 다중 영역 행성 가변 속도 제어 장비 및 간단한 프로그래밍 알고리즘을 통해 다양한 연마 옵션을 제공합니다. 터치 스크린 컨트롤러 (Touch Screen Controller) 의 도움으로 균일 한 연마 결과를 보장하는 단계별 연마 시퀀스를 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 내부 및 외부 연마 도구는 다른 연마 속도와 설정으로 구성 될 수 있습니다. 또한 SNG-32BAW 는 대규모 데이터 수집 시스템 및 데이터 분석 장치 (data analysis unit) 를 통해 프로세스 성능을 추적, 분석, 최적화할 수 있습니다. 또한 컴퓨터 기반 GPU (Graphics Processing Unit) (옵션) 에 연결하여 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 프로세스의 고급 데이터 분석 및 모니터링을 수행할 수 있습니다. SPEEDFAM SNG-32BAW (SPEEDFAM SNG-32BAW) 는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 최소한의 프로세스 변형을 통해 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 PLC 컨트롤러 (PLC Controller), 가변 속도 제어 도구 (Variable Speed Control Tool) 및 데이터 획득 및 분석 자산을 포함하면 견고하고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장치를 찾는 사람들에게 이상적인 솔루션이 됩니다.
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