판매용 중고 SPEEDFAM SH-24 #9255915

SPEEDFAM SH-24
ID: 9255915
빈티지: 1996
Single head polisher, 24" Plate diameter Rough polishing: 609.6 mm Final polishing: 656.0 mm Pressure plate diameter: 228.6 mm Polishing plate rotation speed: 6 - 36 rpm Pressure plate drive speed: 6-36 rpm Oscillation width: 520 mm maximum Oscillation speed: 5 - 30 mm/sec Pressure plate FWD/BWD stroke: 70 mm Pressure cylinder: 100 x 120 st Electrical / Air specifications: Main motor: 2.5 kW, 4 P Oscillation motor: 0.9 kW Pressure plate drive motor: 0.2 kW, 4 P Air pressure: 4.5 - 5.0 kg/cm² Air supply: 22 N1/hr Control circuit: 100 V, 1 Phase, 50/60 Hz Main power: 200 V, 3 Phase, 50/60 Hz Total: 2.52 kW 1996 vintage.
SPEEDFAM SH-24는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 고수율, 비용 효율적인 초고속 정밀 웨이퍼를 대량 생산할 수 있습니다. 최첨단 성능과 효율성을 제공하기 위해 최신 기술 발전을 통해 설계, 제조되었습니다. SH-24는 혁신적인 스핀들 피드 시스템을 특징으로하며, 회전당 1.0 유속에서 160 유속까지 인덱싱할 수 있습니다. 이는 정확하고 반복 가능한 랩핑 및 그라인딩 결과를 보장하여 최적의 표면 마무리 및 평평함을 보장합니다. 통합 듀얼 스테이지 서보 모터는 스핀들 스피드 안정성 (spindle speed stability) 을 보장하여 다양한 재료를 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. SPEEDFAM SH-24 (SPEEDFAM SH-24) 는 또한 고급 랩핑 플레이트 로더를 갖추고 있어, 즉시 웨이퍼 준비를 위해 여러 랩핑 플레이트를 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이로 인해 처리량 및 운영 효율성이 크게 향상됩니다. 또한, 통합 습식 스크러버 (wet scrubber) 는 균일하고 일관된 액체 전달을 보장하여 수동 소거 및 청소가 필요하지 않습니다. 또한, SH-24에는 웨이퍼 처리 단계를 모니터링하고 압력 (pressure) 과 속도 (speed) 를 자동으로 조정하여 최적의 결과를 보장하는 비전 장치 (optional vision unit) 가 장착되어 있습니다. 이것은 처리하기 어려운 재료에서도 균일 한 표면 마무리와 평탄성을 보장합니다. 자동 기판 냉각기 (옵션) 는 SPEEDFAM SH-24의 성능을 더욱 향상시킵니다. 이것은 섬세한 기판의 잠재적 열 손상을 방지하고 총 전열을 최소화합니다. 또한 냉각 도구는 뛰어난 프로세스 제어 및 균일성을 제공합니다. 전반적으로, SH-24는 다재다능하고, 비용 효율적이며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 초고수율 정밀 웨이퍼의 고 수율, 일관성 및 정밀 생산을 위해 설계되었습니다. 고급 기능을 갖춘 SPEEDFAM SH-24 는 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 한편, 높은 처리량, 운영 비용 절감, 전반적인 생산성 향상을 보장합니다.
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