판매용 중고 SPEEDFAM SH-24-H #176378

SPEEDFAM SH-24-H는 단일 통합 생산 라인을 갖춘 고효율 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 최대 300mm 직경의 고정밀도 및 대구경 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 독립형 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있으며, 랩핑, 그라인딩, 연마 등의 연속적인 단계 사이에서 다양한 크기의 웨이퍼를 정확하게 픽업하고 배치 할 수 있습니다. 랩핑 프로세스는 불규칙성을 줄이고 웨이퍼 표면에서 균일성을 보장합니다. 고급 다중 축 동작 장치 (advanced multi-axis motion unit) 와 정밀 수력 탄성 프레스 (precision hydro-elastic press) 의 조합은 우수한 웨이퍼 평면도와 균일 한 표면 마무리를 달성합니다. 이 기계는 특허를받은, 높은 정확도의 DP-24 휠을 사용하여 컴퓨터 제어 하에서 빠르게 회전하여 랩핑 작업을 수행합니다. 바퀴에는 최대 4 개의 그릿 크기를 공급하기위한 통합 진동 장치가 장착되어 있습니다. 연삭 공정은 웨이퍼 표면의 지형을 더욱 구체화합니다. SPEEDFAM 맞춤형 설계 SH-24-H 그라인딩 휠은이 목적을 위해 특별히 설계되었습니다. "휠 '은 연삭 과정 을 정밀 한 표면 연삭 단계 로 나눈 다음, 빠른 마무리 연삭 단계 로 나눈다. 표면 연삭 단계 동안, CNC 제어 휠은 웨이퍼에 3 축 힘을 적용하고, 유연한 연삭 휠은 동시에 웨이퍼 컨투어를 따릅니다. 마무리 그라인딩 (finish grinding) 단계에서 휠은 동일한 동작 경로를 따르지만, 더 높은 해상도와 훨씬 높은 이송 속도 (feed rate) 를 갖습니다. 연마 과정 은 "웨이퍼 '표면 의 모양 과 질감 을 더욱 정련 시킨다. SPEEDFAM SH-24-H는 두 가지 독특한 연마 기술을 사용합니다. 첫째, 완전하게 자동화된 제로 클리어런스 검사 스테이션 (Zero-Clearance Inspection Station) 을 사용하여 웨이퍼의 글로벌 형태 정확도를 측정하고 모든 현미경 버를 제거합니다. 다음으로, 다중 축 로봇 암은 전체 웨이퍼 표면에 정확한 연마력을 적용합니다. 그런 다음 웨이퍼는 4 개의 독점적 인 연마 판 중 하나에 배향되고 오목하며, 광학적으로 투명한 연마 패드가 고정됩니다. 이 패드에는 일관되고 통제 된 결과를 위해 특수 공식화 된 연마 화합물과 함께 사용되는 정확하게 등급 매긴 기계식 연마 매체 (mechanical polishing media) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로, SH-24-H 도구는 매우 다재다능한 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 자산으로, 가장 엄격한 생산 요구 사항을 빠르고 쉽게 충족합니다. 첨단 기술로, 이 모델은 높은 정확성을 보장하며, 최고 품질의 웨이퍼 마무리를 보장합니다.