판매용 중고 SPEEDFAM SFDL-9B-5L #9223971

SPEEDFAM SFDL-9B-5L 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 반도체 웨이퍼 및 기타 전자 부품의 고정밀 표면 마무리를 위해 설계된 자동 처리 기계입니다. 이 기계는 2 개의 웨이퍼를 동시에 연마 및 연마 할 수있는 이중 스핀들 (spindle) 설계를 특징으로합니다. 이렇게 하면 처리량을 향상시키고 처리 시간을 단축할 수 있습니다. SFDL-9B-5L에는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정의 모든 측면을 처리 할 수있는 5 축 로봇 암이 제공됩니다. 이 "로봇 '암 은 압력 과 결과 의 균일성 을 보장 하기 위하여 여러 가지 각도 와 속도 로" 스핀들' 을 움직 일 수 있다. 또한 이 팔 (arm) 을 사용하면 연산자가 여러 가공소재에서 동시에 고유 한 서피스 마무리를 프로그래밍할 수 있습니다. 로봇 암은 3.7kW AC 모터로 구동되며 스핀들을 최대 50,000 RPM의 속도로 작동 할 수 있습니다. 스핀들 자체는 향상된 성능을 보장하는 고급, 경량, 내식성 물질로 만들어집니다. 또한, 각 스핀들에는 독립 진동 센서가 장착되어 있어 작동 중 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 설계 요구 사항에 따라 최대 5 단계로 완전히 자동화 된 연마 프로세스를 갖추고 있습니다. 여기에는 1000 그릿 연마 용지, 고정밀 다이아몬드 연마 화합물, 마지막으로 거울 같은 광택을 달성하기위한 부드러운 연마 과정이 포함됩니다. 이렇게 하면 모순되지 않는 각 웨이퍼 (wafer) 에 균일하고 매우 정확한 서피스 마무리가 가능합니다. SPEEDFAM SFDL-9B-5L 은 (는) 또한 모든 관련 운영 정보를 표시하고, 사용자가 정확한 결과를 위해 광범위한 데이터베이스 설정에 액세스할 수 있도록 하는 완전 통합 모니터를 갖추고 있습니다. 여기에는 분쇄 및 연마 과정 (예: 스핀들 속도, 랩핑 압력, 연마 기간) 에 대한 자세한 정보가 포함됩니다. 마지막으로, SFDL-9B-5L에는 안전하고 적절한 시스템 작동을 보장하는 안전 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 오작동 시 자동으로 기계를 분리하는 이동 탐지기, 제어 시스템 (Control System), 비상 종료 (Emergency Shut-off) 가 포함됩니다. 따라서 고객의 안전 (Safety) 과 생산된 전자 부품의 품질이 결코 손상되지 않습니다.