판매용 중고 SPEEDFAM SFDL-20B-5P #9224528

SPEEDFAM SFDL-20B-5P
ID: 9224528
빈티지: 1995
Double side polishing system No pump tank 1995 vintage.
SPEEDFAM SFDL-20B-5P는 집적 회로 및 반도체 칩 제조업체를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 고급 시스템은 정확한 제어를 제공하여 문제 없는 운영을 통해 우수한 AOI (AOI), 낮은 소유 비용, 빠른 ROI (투자 수익) 를 보장합니다. 이 장치는 20 인치 또는 24 인치 다이아몬드 그라인딩 및 랩핑 헤드의 조합을 사용하며, 표면 미세도를 0.5 m까지 달성 할 수 있습니다. "다이아몬드 '의 크기 는" 웨이퍼' 의 용도 에 따라 다르다. 절삭 프로세스는 그라인딩 헤드 (grinding head) 에 센서를 사용하여 신중하게 모니터링되며, 이를 통해 원하는 서피스 마무리를 유지하고 사양 이상 (specification anomaly) 을 없앨 수 있습니다. SFDL-20B-5P에는 300mm에서 200mm까지의 여러 웨이퍼 크기를 지원하는 자동 웨이퍼 로딩 인터페이스가 있습니다. 또한, 기계는 미세 연삭 및 랩핑을 위해 웨이퍼 표면을 정확하게 미세 정렬 할 수있는 5 축 포지셔닝 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이는 표면 손상 가능성을 최소화하고, 원하는 정밀도 (precision) 를 달성하는 데 소요되는 시간을 줄여줍니다. 이 도구는 또한 과열 방지 (overheating) 를위한 고급 냉각 기술을 보유하고 있으며, 이는 최적화된 스핀들 디자인과 함께 작동하며, 추가 안정성을 위해 향상된 웨이퍼 지원 구조입니다. 작동 중, 온보드 온 레벨 포트는 웨이퍼에 대한 실시간 표면 평가를 제공합니다. 또한, 먼지 수집 자산은 직장 안전 및 환경 제공 (environmental courtesy) 에 대한 국제 표준을 충족하도록 조정되었습니다. 공기의 오염을 예방하기 위해 먼지 입자를 포착, 수집하는 고효율 여과 (Hi Efficiency Filtration) 모델로 설계되었습니다. SPEEDFAM SFDL-20B-5P는 제한된 지역에 적합한 컴팩트하고 사용자 친화적인 장비입니다. 이 기능은 프로세스 속도를 극대화하고 반복성을 허용합니다. 안정성과 정확성을 갖춘 이 시스템은 가장 까다로운 어플리케이션에 가장 높은 품질의 웨이퍼 (Wafer) 제작을 제공합니다.
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