판매용 중고 SPEEDFAM JND 9B-5P-IV #9166274

SPEEDFAM JND 9B-5P-IV는 고밀도 반도체 처리를 위해 설계된 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 장비는 대형 웨이퍼 (직경 최대 6 인치) 를 연마하여 초고광택 피니시를 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 2 개의 연삭 단계와 1 개의 연마 단계를 포함하는 3 단계 프로세스가 있습니다. 연삭 단계 동안, 기계는 다이아몬드 팁 (diamond-tipped) 도구를 사용하여 웨이퍼에 매우 높은 표면 마무리를 부여합니다. 연마 단계 에서 "다이아몬드 '공구 는" 폴리우레탄' "랩 '으로 대치 되고" 웨이퍼' 는 "랩 '표면 에 수동 으로 고정 되어 있는 동안 그 중심 주위 를 서서히 회전 시킨다. 이를 통해 매우 정확하고 균일 한 연마 과정이 가능합니다. JND 9B-5P-IV 장치는 전기 기계 웨이퍼 처리 장치, 순환 여과 장치, 연삭 및 연마 테이블, 슬러리 분배 장치 및 컴퓨터 제어 스테이션으로 구성됩니다. 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling unit) 에는 모듈 식 디자인이 있어 한 번에 두 개의 다른 직경의 웨이퍼 처리가 가능합니다. 또한 처리 중 웨이퍼의 파손 또는 오염을 방지하는 안전 기능 (Safety Feature) 이 내장되어 있습니다. 순환 여과 장치는 재사용을 위해 사용 된 연마제를 지속적으로 필터링합니다. 연삭 및 연마 테이블에는 두 개의 개별 모터 구동 다이아몬드 공구 홀더가 있습니다. 두 홀더는 다양한 크기의 웨이퍼를 수용하도록 수직, 수평으로 조정할 수 있습니다. 슬러리 분배 장치 (slurry dispensing unit) 는 중력 공급 용기로 다이아몬드 공구 보유자에게 올바른 양의 액체 슬러리를 공급합니다. 컴퓨터 제어 스테이션 (computer control station) 은 웨이퍼 크기 및 두께, 그라인딩 및 연마 시간, 서피스 마무리 (surface finish) 등 모든 기계의 매개변수를 프로그래밍하고 모니터링하는 데 사용됩니다. 전반적으로 SPEEDFAM JND 9B-5P-IV는 안정적이고 정확도가 높은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 반도체 처리 응용 프로그램에 적합합니다. 모듈식 설계를 통해 설치, 사용이 간편하고 컴퓨터 제어 스테이션 (computer control station) 을 사용하면 최적의 결과를 얻을 수 있는 도구를 빠르고 효율적으로 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다.