판매용 중고 SPEEDFAM JND 21B-5P-II #9133576

ID: 9133576
빈티지: 1991
Soft stone grinder SSG Type (2) Motors 1991 vintage.
SPEEDFAM JND 21B-5P-II는 광학, 반도체 및 광학 부품에서 매우 정확하고 부드러운 지하 표면 표면을 생산하는 데 사용되는 완전 자동화 된 다방향 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 증분 주기 시간 없이 가장 정밀한 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. 직경이 2 "~ 8" 인 웨이퍼에서 뛰어난 마무리를 달성 할 수 있습니다. JND 21B-5P-II에는 선형 동작, 회전 동작 및 색인 동작을 갖춘 5 축 동작 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 반복 가능하고 일관된 결과를 위해 빠른 프로그램 프로그래밍이 가능합니다. 연삭 헤드는 떠 다니는 연마성 플래튼 (platen) 과 충격에 강한 콘 컵 (cone cup) 으로 설계되어 연삭과 연마가 균등하고 정확하게 수행되도록 합니다. 또한 더블 플레이트 장착, 자체 보상 스핀들 드라이브 (spindle drive) 가 장착되어 부드럽고 일관된 마무리를 보장합니다. SPEEDFAM JND 21B-5P-II의 연마 책임자는 연마를위한 통제 된 환경을 제공하기 위해 통합 액체 솔루션 저수지 및 히터를 갖추고 있습니다. "히터 '는 일관성 있는 온도 를 유지 하는 반면, 액체 는 용액 머리 를 통해 공급 되어 일관성 있는 연마 표면 을 만든다. 기계에는 풀 웨이퍼 검사 (Full Wafer Inspection) 및 자동 이미지 분석 (Automated Image Analysis) 이 가능한 비전 스테이션 (Vision Station) 이 장착되어 있어 최고의 마무리 품질을 보장합니다. 또한 연삭 공정의 균일 한 표면을 보장하기 위해 자동 연삭 (grinding) 설정이 특징입니다. 이 툴에는 실시간 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 갖춘 고급 제어 자산 (Advanced Control Asset) 도 있습니다. 제어 모델에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 운영자가 프로세스 매개변수를 신속하게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. JND 21B-5P-II (JND 21B-5P-II) 는 매우 자동화된 방식으로 와퍼에서 뛰어난 마무리를 생성하는 안정적이고 효율적인 방법입니다. 정밀도가 높은 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 기능을 통해 광학, 반도체, 광학 기계적 구성 요소를 매끄럽고 정확한 하위 면으로 생산할 수 있습니다.
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