판매용 중고 SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH #9066799
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ID: 9066799
빈티지: 2004
Polisher
Double sided with (3) motors
Rotational speed: 10 ~ 60 rpm
Surface plate: φ 1154 x φ 364 (Inner diameter) x 50
2004 vintage.
SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MH Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 가장 까다로운 반도체 제작 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계된 엘리트 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 이 장치는 16 인치 (41cm) 의 플래튼 크기, 5mm의 불균형 오리피스, 3m/h의 진공 테이블, 0.55kW의 드라이브 파워 및 270kg의 순 무게를 특징으로합니다. 제조업체가 최고 수준의 정밀도, 표면 마무리, 내구성을 달성하도록 설계되었습니다. 이 기계는 기본 (Primary) 및 보조 플라텐 (Secondary Platen) 과 유연성 향상을 위해 회전 및 기울일 수있는 회전 테이블로 구성됩니다. Primary Platen은 270 도의 조절 가능한 압력을 가진 정적 연마 패드를 특징으로하며, Secondary Platen은 독립적 인 조정 가능한 연마 패드를 특징으로합니다. 두 Platen 's에는 토크와 전력을 추가 할 수있는 강력한 선형 베어링 (heavy-duty linear bearing) 및 동력 구동 도구가 장착되어 있습니다. 회전 및 기울기 테이블 (Rotating Table) 은 대형 및/또는 다중 웨이퍼를 연마 할 때 유연성이 향상되도록 사용할 수 있습니다. 이 자산에는 강력한 다이아몬드 슬러리 피드 및 분배 모델도 포함되어 있습니다. 장비에는 큰 웨이퍼를 쉽게 운송하기위한 내장 스키드 플레이트 (skid plate) 가 장착되어 있습니다. JND 16B-5PV-3MH Wafer Grinding, Lapping & Polishing System은 또한 진동 감쇠와 훨씬 더 큰 정확도를 위해 고정밀 스핀들 모터를 통합합니다. SPEEDFAM JND 16B-5PV-3MB 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치는 최소 Ra 5nm의 구성 요소를 생산하도록 설계되었습니다. 최첨단 진공 기술 (State-of-the-art vacuum technology) 을 통해 기계는 슬러리에 존재하는 공기 거품의 양을 줄일 수 있으므로 성능이 향상되고 수명이 연장됩니다. 이 도구는 또한 다양한 마모제를 수용하도록 설계되었으며, 다양한 그라인딩, 라 피다리 (lapidary) 및 연마 응용 분야에 이상적입니다. 자산 (Asset) 에는 최고 수준의 품질과 신뢰성을 보장하기 위해 보증 및 교육 프로그램이 지원됩니다. 정확한 내결함성과 강력한 드라이브를 갖춘 JND 16B-5PV-3MH Wafer Grinding, Lapping & Polishing Model은 가장 까다로운 반도체 제작 어플리케이션에 적합합니다.
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