판매용 중고 SPEEDFAM EPX 300X #9398834

SPEEDFAM EPX 300X는 생산 요구에 높은 성능과 속도가 필요한 고객을 위해 설계된 완전하게 자동화된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비입니다. 최대 300개의 와퍼/시 (wafer/hour) 까지 처리할 수 있는 대규모 운영 실행을 위해 설계되었습니다. 프로세스 모듈은 4 축 랩 플레이트와 연마 헤드로 구성 할 수 있습니다. 전용 연마 미디어 디스펜서, 메소드 엔지니어링 라이브러리, 프로세스 모니터링 및 제어 시스템, 컴퓨터 인터페이스 등이 제공됩니다. EPX 300X는 탁월한 비용 효율성을 통해 높은 정확도를 제공하는 고급 설계 기능을 제공합니다. 기계는 가공소재의 두께 (thickness) 와 연마제 (marrasive media) 와 가공소재 (workpiece) 표면 사이의 마찰을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 전체 웨이퍼에서 균일 한 연삭, 랩핑 및 연마 성능이 가능합니다. 이 장치는 또한 공정 (process) 과 공구 마모 (tool wear) 를 빠르게 추적하여 생산성 향상과 일관된 결과를 보장하는 기능을 갖추고 있습니다. SPEEDFAM EPX 300X의 연마 헤드는 원치 않는 흔들림을 방지하고 연마 패턴을 향상시키는 혁신적인 회전/슬레이브 로직으로 제어 할 수 있습니다. 또한 DCU (Programmable Digital Control Unit) 는 자동화된 프로세스 시작/중지, 온도 조절 및 프로그래밍 데이터 입력을 허용합니다. 프로그램 메모리 런타임 (runtime) 은 다른 플랫폼으로 저장 및 전송할 수 있으며, 이를 통해 데이터를 보다 쉽게 추적할 수 있습니다. 인력의 안전을 보장하기 위해 EPX 300X에는 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 직접 접촉 위험으로부터 직원을 보호하기 위해 물리적/전자적 연동이 모두 특징입니다. 로터와 모터 속도는 광학 센서와 전자 센서를 사용하여 지속적으로 모니터링합니다. 또한, 먼지와 액체에 봉인 된 내구성, 부식 내성 물질로 구성됩니다. SPEEDFAM EPX 300X는 생산 속도 및 비용 효과를 극대화하기 위해 설계된 최고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 첨단 기능, 안전 (Safety) 기능, 혁신적인 설계로 고정밀 (high-precision) 결과와 프로세스 제어가 필요한 고객에게 이상적인 선택입니다.