판매용 중고 SPEEDFAM DSP 18B-5P #9170546

SPEEDFAM DSP 18B-5P 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 실리콘 웨이퍼 및 까다로운 표면 준비 요구 사항을 갖춘 기타 재료에 사용되는 고도로 자동화된 단일 웨이퍼, 표면 조절 시스템입니다. 이 장치는 직경 50mm ~ 200mm 범위의 대형 웨이퍼에 이상적이며, 원자 수준, 최저의 거친 표면 마무리 기능을 달성 할 수 있습니다. DSP 18B-5P에는 클로즈드 루프 (closed-loop) 고정밀 포지셔닝 머신이 장착되어 있으며, 이는 정밀한 마이크로 테프 제어를 위해 스핀들에 장착 된 쿼츠 인코더가 특징입니다. 이 오픈 루프 (open-loop) 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 제어 알고리즘의 조합은 반복 가능한 프로세스를 가능하게하며 매우 정확하고 정확한 연마 결과를 보장합니다. 이 도구는 독특한 특허 처리 기술을 갖춘 단면 연삭 및 연마 (단일 스테이션 포함) 또는 양면 동시 연삭 및 연마 (4 개의 스테이션 포함) 중에서 선택할 수 있습니다. 이 완전 접촉 연삭 (full-contact grinding) 및 연마 (polishing) 모드는 웨이퍼 표면에 균일하고 일정한 압력을 제공하여 표면 마무리와 우수한 품질을 제공합니다. SPEEDFAM DSP 18B-5P는 단일 결정 기질, 유리 및 세라믹을 포함하여 다양한 기질을 처리합니다. 프로세스 압력을 정확하게 제어하기 위해 고유 한 델타 쿠 자산 (Delta Cu Asset) 이 통합되어 균일하고 반복 가능한 표면이 생성됩니다. 고급 진공 연마 모델을 사용하여 DSP 18B-5P는 폐기물과 오염을 최소화합니다. 이 장비는 가변 속도 기술 (variable speed technology) 을 통합하여 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정하고 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 접촉 압력을 유지합니다. 각 처리 단계는 실시간으로 자동으로 모니터링되며, 결과는 나중에 참조할 수 있도록 기록되고 저장 (logged and store) 됩니다. 이 시스템의 견고한 디자인에는 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface), 업그레이드 된 안전 기능, 추가 자동화를 위한 다양한 액세서리가 포함됩니다. 강력한 촉각 설계 및 고급 기능을 갖춘 SPEEDFAM DSP 18B-5P는 일관성 있고 뛰어난 연마 결과를 요구하는 모든 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.