판매용 중고 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9143479
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ID: 9143479
빈티지: 1991
Double side wafer lapping system
Without wafer position correcting carrier
Includes:
Sizing apparatus
Slurry tank unit
Pump
1991 vintage.
SPEEDFAM DSM9B-5L-III는 다양한 크기와 모양의 여러 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 양면 랩핑 기계, 그라인딩 헤드, 메인 테이블, 직경 조절 가능한 그라인딩 휠 및 peristaltic 펌프가 포함됩니다. 랩핑 머신에는 2 개의 사전 프로그래밍 된 휠 페어 (wheel pair) 가 장착되어 있으며 3 축 동작 제어 장치 (motion control unit) 를 사용하여 공정의 흐름을 정확하게 제어하고 웨이퍼를 균일성과 정확도로 연마합니다. 이 기계의 연삭 헤드는 다양한 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있도록 조정 할 수 있습니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 다이아몬드 및 유리 연마 등 다양한 재료를 연마하기위한 다이아몬드 공구 홀더가 있습니다. 그라인딩 공구 홀더는 각 웨이퍼 (wafer) 에 대해 일관되고 정확한 반지름을 유지할 수 있으므로 정밀하고 균일한 그라인딩 결과를 얻을 수 있습니다. DSM9B-5L-III 의 주 표는 사용하기 쉬운 레버로 조정할 수 있으며, 이를 통해 랩핑 머신을 쉽게 설치, 조정할 수 있습니다. 주 테이블은 한 번에 여러 웨이퍼를 수용하기에 충분히 큽니다. 이 도구에는 랩핑 (lapping) 프로세스에 유연성과 조절 기능을 제공하기 위해 조절 가능한 주파수 (RF) 드라이브도 장착되어 있습니다. SPEEDFAM DSM9B-5L-III에는 자동 정리 에셋 옵션도 있습니다. 정리 모델은 수동 정리 (manual clean-up) 에 필요한 시간과 노력을 줄이고 빠르고 효율적인 작업을 용이하게 하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 와퍼의 과열 및 손상을 방지하는 스마트 온도 조절 시스템 (Smart Temperature Control System) 도 포함되어 있습니다. DSM9B-5L-III는 매우 정확하고 효율적이며 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 탁월한 정확성과 유연성을 제공하므로 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다 (영문). 이 기계는 최신 기술을 사용하여 우수한 결과를 제공하므로 반도체 (semiconductor) 및 기타 고정밀 어플리케이션 (high-precision application) 에 이상적인 선택입니다.
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