판매용 중고 SPEEDFAM DSM9B-5L-III #9120349

SPEEDFAM DSM9B-5L-III는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 높은 품질의 표면 마무리와 낮은 TCO (소유 비용) 로 복잡한 기판을 완성할 수 있는 경제적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 이 시스템에는 가변 속도 드라이브 장치 (variable speed drive unit) 와 함께 고정밀 스핀들 (high-precision spindle) 이 포함되어 있으며, 이 시스템은 다양한 모양, 크기 및 두께로 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 스핀들 헤드 (spindle head) 는 수직 (vertical) 방향과 수평 (horizontal) 방향으로 조정할 수 있으므로 가공소재의 위치를 조정할 수 있으므로 와퍼 (wafer) 의 전체 지름에 걸쳐 완벽한 공구 접촉과 압력 분배가 가능합니다. 스핀들 (spindle) 은 최대 100,000 RPM을 제공하여 매우 정밀하고 작은 소음으로 고속 작동이 가능합니다. 또한 DSM9B-5L-III 에는 고도로 민감한 고급 피백 (feed-back) 제어 툴이 포함되어 있어 속도를 자동으로 조정할 수 있어 전체 프로세스 전반에 걸쳐 매우 균일합니다. SPEEDFAM DSM9B-5L-III에서 웨이퍼 그라인딩에 사용되는 마모제는 오랫동안 지속되고 내구성이있는 특수 특허 마비 다이아몬드 재료입니다. 그것 은 높은 "그라인딩 '력 과 낮은" 그라인딩' 력 을 결합 시켜 효과적 인 연삭, "랩핑 '및 연마 결과 를 달성 한다. 더욱이, 자산은 직경이 최대 4 "인 가공물을 랩핑 및 연마 할 수 있으며, 이를 통해 가장 복잡한 기판을 처리하고 마무리 할 수 있습니다. 이 장비의 특허 냉각 모델 (내장) 은 특수 냉각 채널을 사용하여 랩핑 및 연마 과정에서 가공소재의 냉각을 용이하게합니다. 냉각 과정 은 기계 의 작동 온도 를 현저 히 감소 시켜 "웨이퍼 '와" 다이아몬드' 마비 가 과열 되지 않도록 막아 주며, 그것 을 손상 으로부터 보호 해 준다. 마지막으로, DSM9B-5L-III (DSM9B-5L-III) 에는 충격 방지 (shock protection) 및 안전 스위치 (safety switch) 와 같은 안전 기능이 장착되어 있어 감독없이 실행되지 않으며, 운영자의 안전과 시스템의 무결성을 보호합니다. 이 시스템은 또한 최소한의 예비 부품 (Spare Part) 과 낮은 유지 보수 비용 (Maintenance Cost) 으로 효율이 높고 유지 관리가 용이합니다. 전반적으로 SPEEDFAM DSM9B-5L-III 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치는 높은 정확도와 일관된 결과를 찾는 모든 실험실에 이상적인 선택입니다. 특허를 획득한 EMC의 기술은 복잡한 가공소재 (workpieces) 를 완성할 수 있는 경제적이고 안정적인 방법을 제공하며, 매우 정확하고, 운영 비용이 크게 절감됩니다.